直写式无掩模光刻

工艺工具触发

2023-06-09

北京润诚时代科技有限公司
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我们专注于以低延迟准确触发外部工艺。我们触发加工设备的解决方案，例如基于校准的工作点位置，以纳秒级延迟的光刻光源和直写式激光器。

我们经常设计和部署用于纳米级加工的系统。使用错误映射技术和其他技术定期处理同步加工工艺，从而实现推动下一代设备的精细功能。

在高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 制备定位系统中，我们融入了数十年的磁屏蔽、颗粒管理以及真空制备清洁制造和设计经验。

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