灵敏度≤1微米；
主体材料为304不锈钢，稳定性高、耐腐蚀性好，也适合在真空中使用（需更换真空油脂）；
进口超高精密交叉滚柱导轨，保证了产品的灵敏度、平直度等关键指标达到国际水平；
标配微分头驱动，能够准确定位，还可选配差动微分头；