灵敏度≤2微米; 主体材料为304不锈钢,稳定性高、耐腐蚀性好,也适合在真空中使用(需更换真空油脂); 精密交叉滚柱导轨,保证了产品的灵敏度、平直度等关键指标达到国内水平; 标配微分头驱动(除MFP-1W外),能够准确定位,还可选配差动微分头;