扫描测头提供连续的偏移量输出，与机器位置相结合之后，可获得表面位置数据。在进行扫描测量时，一开始测头测尖与工件接触，然后沿工件表面移动，以此采集测量数据。在整个测量过程中，须将测头测针的偏移量保持在测头的测量范围内。 为了取得优质测量结果，需要将测头与机器控制紧密集成，并且采用先进的滤波运算，从而将得到的数据转换为实用的表面信息。扫描驱动算法适用于工件轮廓测量，改变扫描速度使之匹配曲率的变化（表面越平，速度越快），然后调整数据采集速率（表面变化越快，采集的数据越多）。
