| 概要 |
高速运动的直线轴
超小测量步距版 （<1 nm）
接口：EnDat、发那科、三菱、松下和安川
真空应用的PCB电路板、粘合剂和涂料，释气更少
快速抽真空的通气孔
温度稳定性高，支持高烘烤温度
非铁磁材料，过程可靠性高
包装前烘烤，洁净度高 |
| 特征 |
高真空度应用
真空技术是许多现代化研发和生产不可或缺的手段，例如电子产品生产、薄膜技术、材料研究、生物科技、医疗器械和高科技实验设备。
高运动速度
高精度和高运动速度是LIC系列直线光栅尺的鲜明亮点。速度可达600 m/min，测量步距仅1 nm。这些直线光栅尺拥有优异的抗污性能，提供高可靠性的位置反馈信号。 |
| 技术数据 |
| 读数头 |
LIC411 |
LIC411Safety |
LIC419F |
LIC419M |
LIC419P |
LIC419Y |
| 接口 |
EnDat2.2 |
EnDat2.2 |
发那科串行接口αi |
三菱高速接 |
松下串行接 |
安川串行接口 |
| 订购标识 |
EnDat22 |
EnDat22 |
Fanuc05 |
Mit03-4 |
Mit03-2 |
Pana02 |
YEC07 |
| 测量步距 |
10nm，5nm，1nm |
| 位宽 |
36 bit |
36 bit |
- |
计算时间
时钟频率 |
≤5μs
≤16MHz |
≤5μs
≤16MHz |
- |
| 运动速度 |
≤600m/min |
| 细分误差 |
±20nm |
| 电气连接 |
电缆（1m或3m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式） |
| 电缆长度 |
≤100m |
|
≤50m |
≤30m |
≤30m |
≤50m |
≤50m |
| 供电电压 |
DC 3.6V至14V |
| 工作温度 |
–10°C至70°C |
| 重量 |
读数头 |
≤18g（无电缆） |
| 电缆 |
20g/m |
| 连接件 |
M12连接器：15g；D-sub接头：32g |
|
| 直线光栅尺 |
LIC4003 |
| 测量基准 |
玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅 |
| 精度登记 |
±1μm（仅限Robax玻璃陶瓷），±3μm，±5μm |
| 基线误差 |
≤±0.275μm/10mm |
| 测量长度 |
240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440
2640，2840，3040（Robax玻璃陶瓷的最大测量长度为1640） |
| 重量 |
3g+0.11g/mm测量长度 |
|
| 直线光栅尺 |
LIC4005 |
| 测量基准 |
有绝对和增量METALLUR光栅刻轨的钢尺带
取决于安装面 |
| 精度登记 |
±5μm |
| 基线误差 |
≤±0.275μm/50mm（典型值） |
| 测量长度 |
140 240 340 440 540 640 740 840 940 1040 1140 1240 1340 1440
1540 1640 1740 1840 1940 2040
用单段尺带和多个尺座可达到更大测量长度（至28440 mm） |
| 重量 |
尺带 |
31g/m |
| 零部件 |
80g+nx27g |
| 尺座 |
187g/m |
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| 直线光栅尺 |
LIC4007 |
| 测量基准 |
有绝对和增量METALLUR光栅刻轨的钢尺带 |
| 精度登记 |
±3μm（至ML1040），±5μm（ML1240或更大测量长度），±15μm |
| 基线误差 |
≤±0.275μm/50mm（典型值） |
| 测量长度 |
240 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840
3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 4440 4640 4840 5040 5240 5440 5640
5840 6040 |
| 重量 |
尺带 |
31g/m |
| 零部件 |
20g |
| 尺座 |
68g/m |
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| 直线光栅尺 |
LIC4009 |
| 测量基准 |
有绝对和增量METALLUR光栅刻轨的钢尺带 |
| 精度登记 |
±3μm，±15μm |
| 基线误差 |
≤±0.275μm/50mm（典型值） |
| 测量长度 |
70 120 170 220 270 320 370 420 520 620 720 820 920 1020 |
| 重量 |
31g/m |
|
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| 直线光栅尺 |
LIC4009Safety |
| 测量基准 |
有绝对和增量METALLUR光栅刻轨的钢尺带 |
| 精度登记 |
±3μm，±15μm |
| 基线误差 |
≤±0.275μm/50mm（典型值） |
| 测量长度 |
70 120 170 220 270 320 370 420 520 620 720 820
920 1020 1220 1420 1620 1820 |
| 重量 |
尺带 |
31g/m |
| 螺栓 |
＜1g |
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