读数头 |
LIF481 |
LIF471 |
接口 |
1Vpp |
TTL |
内部细分
信号周期 |
–
4μm |
5倍
0.8μm |
10倍
0.4μm |
20倍
0.2μm |
50倍
0.08μm |
100倍
0.04μm |
截止频率 |
≥1MHz |
扫描频率 |
- |
≤500kHz
≤250kHz
≤125kHz |
≤250kHz
≤125kHz
≤62.5kHz |
≤250kHz
≤125kHz
≤62.5kHz |
≤100kHz
≤50kHz
≤25kHz |
≤50kHz
≤25kHz
≤12.5kHz |
边缘间距 |
- |
≥0.080μs
≥0.175μs
≥0.370μs |
≥0.080μs
≥0.175μs
≥0.370μs |
≥0.040μs
≥0.080μs
≥0.175μs |
≥0.040μs
≥0.080μs
≥0.175μs |
≥0.040μs
≥0.080μs
≥0.175μs |
运动速度 |
≤240m/min |
≤120m/min
≤60m/min
≤30m/min |
≤60m/min
≤30m/min
≤15m/min |
≤60m/min
≤30m/min
≤15m/min |
≤24m/min
≤12m/min
≤6m/min |
≤12m/min
≤6m/min
≤3m/min |
细分误差
RMS位置信号噪音 |
±12nm
0.6nm
(1MHz) |
- |
- |
- |
- |
- |
电气连接 |
电缆(0.5m/1m/3m)带15针D-sub接头(针式);接口电子电路在接头内 |
电缆长度 |
增量式:≤30m;带回零和限位专线:≤10m; |
供电电压 |
DC5V±0.25V |
振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms |
≤400m/s2(IEC 60068-2-6)
≤500m/s2(IEC 60068-2-27) |
工作温度 |
0°C至50°C |
重量 |
读数头 |
Zerodur玻璃陶瓷光栅尺:25g;玻璃光栅尺:9g |
接头 |
75g |
电缆 |
38g/m |