高精度的平面内位置测量 测量步距1 µm至0.05 µm 接口:1 VPP
短测量环 一个PP 281二维光栅尺可测量两个轴。直接进行二维测量,显著缩短测量环。减少不利影响,显著提高测量精度。 高精度扫描 PP 281二维光栅尺采用干涉扫描原理。其测量基准是玻璃陶瓷基体上的相位光栅。这款光栅尺测量步距极小和测量精度极高。 易于安装 这款光栅尺信号周期极小,分辨率高,是高精度应用的理想选择。对于如此高精度的光栅尺,安装公差相当宽松,因此易于安装