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PP281双坐标增量光栅尺

概要

高精度的平面内位置测量
测量步距1 µm至0.05 µm
接口:1 VPP

特征

短测量环
一个PP 281二维光栅尺可测量两个轴。直接进行二维测量,显著缩短测量环。减少不利影响,显著提高测量精度。
高精度扫描
PP 281二维光栅尺采用干涉扫描原理。其测量基准是玻璃陶瓷基体上的相位光栅。这款光栅尺测量步距极小和测量精度极高。
易于安装
这款光栅尺信号周期极小,分辨率高,是高精度应用的理想选择。对于如此高精度的光栅尺,安装公差相当宽松,因此易于安装

技术数据
  PP281R
测量基准 玻璃基体的二维TITANID相位光栅;栅距:8μm
精度等级 ±2nm
测量区 68mm x 68mm,
如果需要其它测量区尺寸,可按要求提供
参考点 每轴一个参考点,位于测量长度起点位置后的3mm处
接口 1Vpp
信号周期 4μm
截止频率 ≥300kHz
运动速度 ≤72m/min
细分误差
RMS位置信号噪音
±12nm
2nm(450 kHz))
电气连接 电缆(0.53m)带15针D-sub接头(针式);接口电子电路在接头内
电缆长度 ≤30m
供电电压 DC5V±0.25V
振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms
≤80m/s2(IEC 60068-2-6)
≤100m/s2(IEC 60068-2-27)
工作温度 0°C至50°C
重量 读数头 170g
二维栅盘 75g
电缆 37g/m
接头 140g
 
 
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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