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RESOLUTETM UHV绝对式光栅系统配用RELA30直线栅尺

概要

RESOLUTE UHV为超高真空应用提供绝对式光栅技术,帮助客户提高测量效率,降低损坏风险,并增强可靠性。
RESOLUTE的性能优于其他所有为UHV环境设计的绝对式光栅。RESOLUTE分辨率达到1 nm,速度达到100 m/s,其超凡的技术指标是光栅技术的一大新突破!
什么是RELA30栅尺?
RELA30是用ZeroMet(一种低膨胀镍/铁合金)制造的直线硬栅尺,采用30 µm栅距的绝对式栅尺编码。
它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美,在1 m长度内的总体精度(包括斜率误差和线性误差)优于±1 µm。ZeroMet在20 °C时的热膨胀系数为0.75 ±0.35 µm/m/°C。
系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方UHV兼容不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。

特征

串行接口:BiSS® C、Panasonic
读数头尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
100 m/s时分辨率达1 nm
20 °C时精度为±1 µm
20 °C时的栅尺热膨胀系数:0.75 ±0.35 µm/m/°

优点

精度极高且热膨胀接近零
真空环境出气率低
RMS抖动低于10 nm,提高了位置控制稳定性
±40 nm电子细分误差,可实现稳定的速度控制
高级诊断工具选件

为什么选择这种光栅系统?

轻松查错和维护
高级诊断工具ADTa?100可从RESOLUTE™光栅读数头(标有ADT符号)中获取全面的实时数据。然后通过用户友好型ADT View软件界面显示这些信息。尽管在大多数情况下,借助光栅内置的LED安装指示灯就能够完成系统安装,但ADT可协助完成要求更加严苛的安装操作。ADT还可报告光栅性能并协助系统查错,从而避免机器出现长时间停机。
UHV(超高真空)
RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的绝对式光栅技术,通过一个适合在低达10 -9 Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA) 而不会污染真空环境,非常适合高性能、半导体和科研等应用领域。
宽松的安装公差
RESOLUTE UHV没有采用传统的双码道并排(一个为增量式,另一个为绝对式)方法,因为该方法在有少量角度准直偏差时会出现移相这一固有问题。与之不同的是,这种绝对式光栅采用单码道绝对式栅尺,将绝对位置和内置的相位信息整合为单个代码。该技术使RESOLUTE UHV具有更宽松的安装公差(扭摆公差为±0.5°),因此安装快捷方便,具有优异的长期稳定性,即使运动轴随着时间的推移而出现驻留或移动时也是如此。读数头上有一个内置LED安装指示灯,用于进一步协助安装和诊断。
可选的高级诊断工具ADTa-100
RESOLUTE光栅读数头(标有ADT符号)与高级诊断工具ADTa-100和ADT View软件兼容。它们可提供全面的实时光栅数据反馈,以协助完成要求更加严苛的安装和诊断操作。直观的软件界面具有以下功能:
·远程校准
·在整个轴长上实现信号优化
·显示光栅位置(相对于栅尺)的数字读数
·导出和保存数据
·设定零位

技术数据
测量标准 绝对编码式高精度ZeroMet直线硬栅尺
读数头尺寸 (LxWxH) 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm
栅距 标称30 µm
20 °C时的热膨胀系数 0.75 ±0.35 μm/m/°C
20 °C时的精度等级 认证精度达到±1 µm,校准可朔源到国际标准
栅尺长度 一些BiSS C协议类型有最大长度限制
(详见规格手册)
80 mm至1.5 m
最高速度 (详见规格手册)
达到100 m/s
串行接口* BiSS C、Panasonic
分辨率 BiSS C:分辨率为50 nm、5 nm和1 nm
Panasonic:分辨率为100 nm、5 nm和1 nm
电子细分误差 (SDE) ±40 nm
电气连接 栅尺长度可达10m(带散线)
电源 5 V ±10%,5 V时最大为250 mA(带终端)
振动(工作) 55 Hz至2000 Hz时,最大振动为100 m/s2
冲击(非工作) 1000 m/s2,6 ms,½正弦
工作温度 0 °C至+75 °C
烘焙温度(非工作) 120°C
防护等级 IP30
电缆构造 镀银编织铜线电缆,单层屏蔽。FEP绝缘,采用镀锡铜线。
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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