| 概要 |
RESOLUTE UHV为超高真空应用提供绝对式光栅技术，帮助客户提高测量效率，降低损坏风险，并增强可靠性。
RESOLUTE的性能优于其他所有为UHV环境设计的绝对式光栅。RESOLUTE分辨率达到1 nm，速度达到100 m/s，其超凡的技术指标是光栅技术的一大新突破！
什么是RELA30栅尺？
RELA30是用ZeroMet（一种低膨胀镍/铁合金）制造的直线硬栅尺，采用30 µm栅距的绝对式栅尺编码。
它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美，在1 m长度内的总体精度（包括斜率误差和线性误差）优于±1 µm。ZeroMet在20 °C时的热膨胀系数为0.75 ±0.35 µm/m/°C。
系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方UHV兼容不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。 |
| 特征 |
串行接口：BiSS® C、Panasonic
读数头尺寸：36 x 16.5 x 17.2 mm
100 m/s时分辨率达1 nm
20 °C时精度为±1 µm
20 °C时的栅尺热膨胀系数：0.75 ±0.35 µm/m/° |
| 优点 |
精度极高且热膨胀接近零
真空环境出气率低
RMS抖动低于10 nm，提高了位置控制稳定性
±40 nm电子细分误差，可实现稳定的速度控制
高级诊断工具选件 |
| 为什么选择这种光栅系统？ |
轻松查错和维护
高级诊断工具ADTa?100可从RESOLUTE™光栅读数头（标有ADT符号）中获取全面的实时数据。然后通过用户友好型ADT View软件界面显示这些信息。尽管在大多数情况下，借助光栅内置的LED安装指示灯就能够完成系统安装，但ADT可协助完成要求更加严苛的安装操作。ADT还可报告光栅性能并协助系统查错，从而避免机器出现长时间停机。
UHV（超高真空）
RESOLUTE UHV采用雷尼绍革命性创新的绝对式光栅技术，通过一个适合在低达10 -9 Torr的超高真空条件下应用的读数头充分发挥其技术优势。新的RESOLUTE UHV光栅系列的构造有利于进行残余气体分析 (RGA) 而不会污染真空环境，非常适合高性能、半导体和科研等应用领域。
宽松的安装公差
RESOLUTE UHV没有采用传统的双码道并排（一个为增量式，另一个为绝对式）方法，因为该方法在有少量角度准直偏差时会出现移相这一固有问题。与之不同的是，这种绝对式光栅采用单码道绝对式栅尺，将绝对位置和内置的相位信息整合为单个代码。该技术使RESOLUTE UHV具有更宽松的安装公差（扭摆公差为±0.5°），因此安装快捷方便，具有优异的长期稳定性，即使运动轴随着时间的推移而出现驻留或移动时也是如此。读数头上有一个内置LED安装指示灯，用于进一步协助安装和诊断。
可选的高级诊断工具ADTa-100
RESOLUTE光栅读数头（标有ADT符号）与高级诊断工具ADTa-100和ADT View软件兼容。它们可提供全面的实时光栅数据反馈，以协助完成要求更加严苛的安装和诊断操作。直观的软件界面具有以下功能：
·远程校准
·在整个轴长上实现信号优化
·显示光栅位置（相对于栅尺）的数字读数
·导出和保存数据
·设定零位 |
| 技术数据 |
| 测量标准 |
绝对编码式高精度ZeroMet直线硬栅尺 |
| 读数头尺寸 (LxWxH) |
36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm |
| 栅距 |
标称30 µm |
| 20 °C时的热膨胀系数 |
0.75 ±0.35 μm/m/°C |
| 20 °C时的精度等级 |
认证精度达到±1 µm，校准可朔源到国际标准 |
| 栅尺长度 |
一些BiSS C协议类型有最大长度限制 |
| （详见规格手册） |
| 80 mm至1.5 m |
| 最高速度 |
（详见规格手册） |
| 达到100 m/s |
| 串行接口* |
BiSS C、Panasonic |
| 分辨率 |
BiSS C：分辨率为50 nm、5 nm和1 nm |
| Panasonic：分辨率为100 nm、5 nm和1 nm |
| 电子细分误差 (SDE) |
±40 nm |
| 电气连接 |
栅尺长度可达10m（带散线） |
| 电源 |
5 V ±10%，5 V时最大为250 mA（带终端） |
| 振动（工作） |
55 Hz至2000 Hz时，最大振动为100 m/s2 |
| 冲击（非工作） |
1000 m/s2，6 ms，½正弦 |
| 工作温度 |
0 °C至+75 °C |
| 烘焙温度（非工作） |
120°C |
| 防护等级 |
IP30 |
| 电缆构造 |
镀银编织铜线电缆，单层屏蔽。FEP绝缘，采用镀锡铜线。 |
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