| 概要 |
TONiC UHV是雷尼绍推出的紧凑型非接触式光栅系统，适合超高真空应用，运动控制性能优异。
TONiC的速度可达10 m/s，与Ti接口配套使用时，在直线和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差宽松，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常 < ±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。
什么是REXM20圆环光栅？
REXM20为一体式不锈钢圆环光栅，其柱面上直接刻有20 µm栅距的增量式刻线，并具有IN-TRAC™光学参考零位。它的截面较大，能够减少除了偏心之外的所有安装误差，而偏心则可使用一个DSi（双信号接口）和两个读数头轻松修正。REXM20的总体安装精度为±1角秒，零联接误差，而且还具有优异的重复精度。
它提供多种尺寸（直径从52 mm到417 mm）和刻线数，所有这些都具有内径大、安装灵活的特点。非接触形式消除了传统封闭式光栅固有的反向间隙、扭转误差（扭变）及其他机械滞后误差。 |
| 特征 |
读数头尺寸：35 x 13.5 x 10 mm
分辨率达1 nm
速度达3673 rpm
超低电子细分误差 (SDE)：通常 < ±30 nm
提供真空和功能安全型号
光学IN-TRAC™参考零位 |
| 优点 |
超高真空 (UHV)
圆环光栅的截面较厚，安装精度为±1角秒
超小型光栅读数头具有动态信号调节功能，可提高运动控制性能
诊断组件用以协助完成复杂安装并进行系统优 |
| 为什么选择这种光栅系统？ |
超高真空 (UHV)
TONiC UHV读数头具有标准TONiC读数头的优异性能，而且其设计和制造使用了UHV兼容材料和工艺，因此适合用于低至10 -10 Torr的超高真空条件。
TONiC UHV系列光栅及附件由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低，进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境，适用于晶片处理/测试、科学仪器、光谱学、真空检测设备等多种应用。
超高安装精度
为了实现高水平角度测量，REXM20配备两个TONiC读数头和一个TONiC DSi（双信号接口），具有重复精度高和零联接误差的特点，而且总体安装精度优于±1角秒。REXM20的截面更厚，可最大程度上降低除偏心以外的所有安装误差，而偏心可使用两个TONiC读数头的联合信号输出轻松修正。一旦DSi消除偏心，剩余的误差就只有刻线误差和电子细分误差，而这两种误差都非常小。
卓越的测量性能
TONiC光栅采用了雷尼绍经过市场检验的光学滤波系统和先进的信号处理技术。自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC) 技术可减少读数头内的模拟信号噪声和数字抖动。
TONiC光栅提供 <±0.5 nm RMS的极低信号输出抖动和 <±30 nm的低电子细分误差 (SDE)，使系统能够更好地保持位置并在直线电机应用中产生更少的热量。低抖动还可在低速运行的高精度应用中实现更为平稳的速度控制。
灵活的配置
TONiC系列提供各种外部接口，可根据应用的速度和分辨率要求进行配置。通过外部接口的后期集成和配置，一个功能全面的TONiC读数头可为最终用户的产品定制工作提供多种选项。
TONiC接口选项支持数字、模拟输出或数字和模拟信号的双输出。TD（双分辨率）接口提供可选的双分辨率输出；还提供DPI接口用于大幅面打印应用。TONiC光栅配置的灵活性使原始设备制造商 (OEM) 能够在各种应用中尽享其优异的运动控制性能和高效率优势。
接口选项
TD（双分辨率）接口
可选双分辨率正交输出。
非常适合要求高速运动及高精度移动的应用。
DOP（双输出）接口
提供同步的数字方波和模拟1 Vpp信号。
设计用于需要将一个或多个操作与运动轴同步的应用场合。
DSi（双信号接口盒）
雷尼绍的DSi将来自REXM20圆环光栅（针对圆弧应用则为REXT20圆环光栅）上的两个TONiC读数头的增量信号组合在一起，对轴承跳动效应进行补偿并消除奇次谐波误差（包括偏心），以提供±2.0角秒的典型总体安装精度。
可选诊断组件
TONiC诊断软件可用于优化TONiC光栅的安装，并提供快速全面的系统校准方案。该软件必须与TONiC诊断硬件配合使用，硬件可向雷尼绍购买（订货号为A-9411-0011）。该硬件内嵌至客户端电子设备，或通过USB电缆（组件中提供）连接至计算机。
了解有关TONiC诊断组件的详细信息。 |
| 技术数据 |
| 测量标准 |
REXM20：一体式超高精度不锈钢圆环光栅 |
| 还提供适合圆弧应用的圆环光栅，如REXT20 |
| 读数头尺寸 (LxHxW) |
35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
| 栅距 |
20 μm |
| 20 °C时的热膨胀系数 |
15.5 ±0.5 μm/m/°C |
| 圆环外径 |
52 mm至417 mm |
| 刻线数 |
8,192至65,536（取决于圆环尺寸） |
| 参考零位 |
REXM20：带有单个IN-TRAC参考零位的圆环光栅 |
| REXT20：适合圆弧应用的带有两个参考零位的圆环光栅 |
| 总体安装精度（配有2个读数头） |
（直径 ≥ 100 mm）±1角秒 |
| （直径为75 mm）±1.5角秒 |
| （直径 ≤ 57 mm）±2角秒 |
| 最高速度 |
（详见规格手册） |
| 模拟 |
-3 dB时为3673 rpm（在52 mm的REXM20上） |
| 数字 |
3673 rpm（在52 mm的REXM20上，TONiC的分辨率为5 µm） |
| 电子细分误差 (SDE) |
通常 < ±30 nm |
| 动态信号控制 |
实时信号调节，包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC)，可在操作期间实现性能优化 |
| 增量信号 |
（查看规格手册，了解角度分辨率详情） |
| 模拟 |
1 Vpp（周期为20 µm） |
| 数字 |
分辨率从5 μm至1 nm |
| 电气连接 |
电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m，采用微型连接器（直接连接至TONiC接口） |
| 电源 |
5 V ±10%，< 100 mA（模拟系统），< 200 mA（数字系统）（无终端） |
| 读数头功耗 |
< 100 mA |
| 振动（工作） |
55 Hz至2000 Hz时，最大振动为100 m/s2 |
| 冲击（非工作） |
1000 m/s2，6 ms，½正弦 |
| 工作温度（系统） |
0 °C至+70 °C |
| 烘焙温度（非工作） |
120 °C（仅限读数头和栅尺） |
| 防护等级 |
读数头：IP20 |
| 接口：IP20 |
| 电缆构造 |
镀锡编织铜线电缆，单层屏蔽，带FEP绝缘 |
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