| 概要 |
TONiC UHV是雷尼绍推出的紧凑型非接触式光栅系统，适合超高真空应用，运动控制性能优异。
TONiC的速度可达10 m/s，与Ti接口配套使用时，在直线和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差宽松，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常 < ±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。
什么是RELM20栅尺？
RELM20是用ZeroMet™（一种低膨胀镍/铁合金）制造的直线硬栅尺，栅距为20 µm。
它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美，在1.5 m长度内的总体精度（包括斜率误差和线性误差）优于±1 µm。ZeroMet在20 °C时的热膨胀系数为0.75 ±0.35 µm/m/°C。
系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方UHV兼容不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。 |
| 特征 |
读数头尺寸：35x13.5x10mm
分辨率达1nm
速度高达10m/s
模拟或数字输出
超低电子细分误差 (SDE)：通常<±30nm
客户可选择的光学IN-TRAC™参考零位 |
| 优点 |
超高真空 (UHV)
精度极高且热膨胀接近零
超紧凑型光栅，具有动态信号调节功能，运动控制性能优异
诊断组件用以协助完成复杂安装并进行系统优化 |
| 为什么选择这种光栅系统？ |
超高真空 (UHV)
TONiC UHV读数头具有标准TONiC读数头的优异性能，而且其设计和制造使用了UHV兼容材料和工艺，因此适合用于低至10 -10 Torr的超高真空条件。
TONiC UHV系列光栅及附件由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低，进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境，适用于晶片处理/测试、科学仪器、光谱学、真空检测设备等多种应用。
操作简便
RELM20 ZeroMet低热膨胀栅尺比传统玻璃栅尺的截面尺寸更小，而且操作和安装更为简便，无破损风险，非常适合精度要求极高的应用。
卓越的测量性能
TONiC光栅采用了雷尼绍经过市场检验的光学滤波系统和先进的信号处理技术。自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC) 技术可减少读数头内的模拟信号噪声和数字抖动。
TONiC光栅提供 <±0.5 nm RMS的极低信号输出抖动和 <±30 nm的低电子细分误差 (SDE)，使系统能够更好地保持位置并在直线电机应用中产生更少的热量。低抖动还可在低速运行的高精度应用中实现更为平稳的速度控制。
灵活的配置
TONiC系列提供各种外部接口，可根据应用的速度和分辨率要求进行配置。通过外部接口的后期集成和配置，一个功能全面的TONiC读数头可为最终用户的产品定制工作提供多种选项。
TONiC接口选项支持数字、模拟输出或数字和模拟信号的双输出。TD（双分辨率）接口提供可选的双分辨率输出；还提供DPI接口用于大幅面打印应用。TONiC光栅配置的灵活性使原始设备制造商 (OEM) 能够在各种应用中尽享其优异的运动控制性能和高效率优势。 |
| 技术数据 |
| 测量标准 |
RELM20：带有中间参考零位的高精度ZeroMet直线硬栅尺 |
| 还提供带有端部参考零位的栅尺，如RELE20 |
| 读数头尺寸 (LxWxH) |
35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
| 栅距 |
20 μm |
| 20 °C时的热膨胀系数 |
0.75 ±0.35 μm/m/°C |
| 20 °C时的精度等级 |
认证精度达到 ±1 µm，校准可朔源到国际标准 |
| 参考零位 |
IN-TRAC参考零位 |
| 有关各种参考零位位置选项，详见规格手册 |
| 限位开关 |
单限位或双限位（订货时选择） |
| 栅尺长度 |
20 mm至1.5 m |
| 最高速度 |
（详见规格手册） |
| 模拟 |
-3 dB时可达10 m/s |
| 数字 |
达到10 m/s |
| 电子细分误差 (SDE) |
通常 < ±30 nm |
| 动态信号控制 |
实时信号调节，包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC)，可在操作期间实现性能优化 |
| 增量信号 |
1 Vpp（周期为20 µm） |
| 模拟 |
分辨率从5 μm至1 nm |
| 数字 |
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| 电气连接 |
电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m，采用微型连接器（直接连接至TONiC接口） |
| 电源 |
5 V ±10%，< 100 mA（模拟系统），< 200 mA（数字系统）（无终端） |
| 读数头功耗 |
< 100 mA |
| 振动（工作） |
55 Hz至2000 Hz时，最大振动为100 m/s2 |
| 冲击（非工作） |
1000 m/s2，6 ms，½正弦 |
| 工作温度（系统） |
0 °C至+70 °C |
| 烘焙温度（非工作） |
120 °C（仅限读数头和栅尺） |
| 防护等级 |
读数头：IP20 |
| 接口：IP20 |
| 电缆构造 |
镀锡编织铜线电缆，单层屏蔽，带FEP绝缘 |
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