北京润诚时代科技有限公司

陶瓷片厚度测量

玻璃表面图形的高度差测量

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线光谱共焦位移传感器

概要

原理：将原来点光谱共焦的点光源扩展为线光源。并通过高速的数据处理，在反馈的线光谱信号上采样多个点信号组成数据序列，用点云处理的方式可以得到被测物的高精度扫描轮廓并输每个位置的高精度高度数据。

特征

特点1：立仪科技开发的线光谱共焦传感器与市面上基于三角法的线光谱原理不同，三角法原理线光谱对狭缝，深孔等特征无法测量，而立仪科技开发的线光谱特性则与点光谱相同，垂直向下测量，狭缝，深孔等特征依然可测
特点2：立仪科技开发的线光谱共焦传感器完全由自主研发，掌握核心技术，部件为国产，可实现批量量产化。
特点3：量产后扫描频率将达到4k以上，完全满足高速扫描测量的需求，扫描线长度最长将达约15~20mm，可满足大部分中小元件高精密扫描测量的需求

应用领域

检测要求：测量陶瓷片的厚度
检测方式：用80um的标准量块进行标定，测试产品的总厚度通过多层测厚工具测量出PE膜的厚度，最后用总厚度减去PE膜的厚度计算出陶瓷片的厚度。

数据展示

深黄色陶瓷片测试数据，传感器工作频率：2000Hz

测量配置清单

清单配置表				传感器参数
序号	类型	规格	数量	最大量程	0.32mm
1	控制器	H4UY-M2	1	分辨率	1nm
2	测头	D15A32	2	工作距离	6.2mm
3	平台	对射测厚	1	最小光斑	3.5μm

测试结论

静态测试稳定性好，重复性精度基本稳定在0.1um以内，可实时测试反馈测试结果，可输出LOG日志.
光强强，测量每个测试点都能接收到准确稳定的反射信号，同时速度能达到300~2000Hz测试时间在0.05s内完成，能够满足测试周期的需求.
非接触式测量的方式，不会给样品留下痕迹.

玻璃管壁厚测量

要求测量玻璃管壁厚

首先把玻璃管固定在测量台面上，取3个垂直物体的最高点（如上图）

本次采用H4UC全量程控制器，搭配D40A19，D40A19长度更长角度性能更好，非常适用于测量侧面物品。

通过立仪光谱共焦测量，得出其数值为8418.487μm，更多高精度测量需求，请与我们联系。

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要求玻璃表面图形的高度差测量（如下图所示）

通过观察样品，发现玻璃表面被激光雕刻的有三块区域，且玻璃的厚度较薄，属于光可穿透物体，由此本次选用的镜头D15A32搭配H4UO单通道控制器，D15A32不仅光斑超小，且线性精度和分辨率都超高，非常适用于要求线性精度高的东西。

通过上图的可以看出使用本公司光谱共焦位移传感器在测量玻璃的高度差位置1的精度在1.28μm左右，位置2 的精度在1.34μm-1.35μm左右，位置3的精度在0.15微米左右，这些还没算上气流等带来的一丝干扰。



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