| 概要 |
AML超高真空兼容角度计载物台，行程±15°，可在工作台上方的横轴上旋转。
当与其他VSM17模块化平台组合时，可单独使用或作为复杂运动系统的一部分使用。当与VSM17-G-114组合时，可以构建具有共同旋转中心的欧拉角度计。
VSM17-G具有刚性结构，可实现高承载能力，同时在全行程中保持平稳运动。它们采用超高真空兼容材料和构造方法制造，并使用AML超高压步进电机。 |
| 特征 |
·±15°行程
·0.005°全步分辨率
·旋转中心到工作台70 mm
·适用于1x10-10mBar
·可烘烤至200°C
·40 kg中心承载能力
·特点AML D35.1步进电机
·可选配限位开关
·提供高扭矩和防辐射版本
·与大多数VSM17模块化平台兼容
·可根据具体要求进行定制 |
| 技术概述 |
| 规格 |
单位 |
VSM17-G-070 |
| 行程（可定制更长行程） |
° |
±15 |
| 整步分别率 |
° |
0.005 |
| 转盘直径 |
mm |
70 |
| 最大速度 |
°/s |
25 |
| 平台尺寸 |
mm |
70x70 |
| 最大力矩 |
Nm |
5 |
| 重复精度 |
μrad |
±110 |
| 中心额定负载 |
kg |
40 |
| 适用于真空度 |
mBar |
1x10-10mBar |
| 最大温度 |
℃ |
200°C |
| 电机 |
- |
D35.1 |
| 包括电机重量 |
kg |
1.38 |
| 线缆长度 |
m |
1.5 |
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| 尺寸 |
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| 订购代码 |
| VSM17-G-070 |
0.005分辨率 |
| VSM17-G-070-LS |
2个限位开关 |
| VSM17-G-070-HT |
高扭矩（20Nm，配D42.1电机) |
| VSM17-G-070-R |
抗辐射 |
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