| 概要 |
| AML超高真空兼容模块化线性平移台可为高达数十公斤的负载提供平移。它们可以单独使用，也可以作为复杂运动系统的一部分使用，因为它们与VSM17模块化平台的范围兼容。它们具有非常高的精度，这在堆叠多个传送器进行复合运动或存在偏移负载的情况下是必要的。它们采用超高真空兼容材料和构造方法制造，并使用AML超高真空步进电机。 |
| 适用于超高真空的线性平移台。可支持高达几公斤的负载，行程从50毫米到200毫米。5µm分辨率可实现精确的真空运动。 |
| 特征 |
·标准行程从50毫米到200毫米
·5μm分辨率（选项HR为1μm）
·重复性优于0.5μm
·从5毫米/秒到15毫米/秒的横向速度
·适用于1×10-10mBar
·作为标准的超高真空预制铝结构
·提供不锈钢结构（选项SS）
·可烘烤至150°C（选项SS为200°C）
·特点AML D35.1步进电机
·可选择安装限位开关或光学编码器
·高分辨率、防辐射和干润滑版本可供选择
·可直接堆叠用于XYZ方向
·与所有VSM17模块化阶段兼容
·可根据具体要求进行定制 |
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| 技术概述 |
| 规格 |
单位 |
VSM17-X-050 |
VSM17-X-050 |
VSM17-X-050 |
VSM17-X-050 |
| 行程（可定制更长行程） |
mm |
50 |
100 |
150 |
200 |
| 整步分别率 |
μm |
5μm（HR选型1μm） |
| 最大速度 |
mm/s |
15mm/s（HR选项3mm/s） |
| 重复定位精度 |
μm |
优于0.5μm |
| 中心负载能力 |
kg |
50kg |
| 负载力矩 |
Nm |
30Nm |
| 轴向力 @ 500Hz 1A相电流 |
kg |
15kg |
| 间隙（使用消间隙螺母等） |
μm |
小于分辨率 |
| 转动，俯仰，偏载（无负载） |
μrad |
±48 |
±90 |
±80 |
±70 |
| 转动，俯仰，偏载Compliance |
μrad/Nm |
16 |
32 |
29 |
26 |
| 行程直线度 |
μm |
3μm /100mm |
| 丝杠精度 |
|
0.027/100mm |
| 步进电机 |
|
D35.1 |
| 适用于真空度 |
mBar |
1x10-10mBar |
| 最大温度 |
℃ |
150°C（选项SS为200°C）（安装光学编码器时降至120°C） |
| MTBF-5kg负载，30%占空比 |
小时 |
15000 |
| MTBF包括电机 |
kg |
1 |
1.6 |
2.1 |
2.7 |
| MTBF包括电机（SS选项） |
kg |
2.2 |
4.4 |
6 |
8 |
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| 订购代码 |
| VSM17-X-xxx |
xxx=行程，单位mm |
| VSM17-X-xxx-SS |
不锈钢 |
| VSM17-X-xxx-HR |
1μm分辨率 |
| VSM17-X-xX-LS |
2个限位开关 |
| VSM17-X-xxx-EA |
编码器（绝对） |
| VSM17-X-xxx-R |
抗辐射 |
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