概要 |
AML超高真空兼容垂直线性平移台,用于高达30kg的负载的z轴平移。
它们可以单独使用,也可以作为复杂运动系统的一部分使用,因为它们与VSM17模块化平台的范围兼容。VSM17-Z专为Z轴平移而设计,具有高负载能力。它们采用超高真空兼容材料和施工方法制造,并使用AML超高压步进电机。 |
特征 |
·50毫米起的标准行程
·1μm分辨率
·0.26μm重复性
·最大速度为5毫米/秒
·适用于1 x 10-10mBar
·可烘烤至200°C
·30kg中心承载能力
·特点AML D35.1步进电机
·可选择安装限位开关或光学编码器
·提供高分辨率、抗辐射和干润滑版本
·专为Z轴平移而设计
·与所有VSM17模块化阶段兼容
·可根据具体要求进行定制 |
技术概述 |
规格 |
单位 |
VSM17-Z-050 |
行程(可定制更长行程) |
mm |
50 |
整步分别率 |
μm |
1μm |
最大速度 |
mm/s |
5mm/s |
重复定位精度 |
μm |
0.26 |
中心负载能力 |
kg |
30 |
负载力矩 |
Nm |
80 |
转动,俯仰,偏载(无负载) |
μrad |
±78 |
转动,俯仰,偏载Compliance |
μrad/Nm |
±54 |
行程直线度 |
μm |
3μm /100mm |
步进电机 |
|
D35.1 |
适用于真空度 |
mBar |
1x10-10mBar |
最大温度 |
℃ |
200°C(安装光学编码器时降至120°C) |
MTBF-5kg负载,30%占空比 |
小时 |
15000 |
MTBF包括电机 |
kg |
2.1 |
|
尺寸 |
|
订购代码 |
VSM17-Z-xxx |
xxx=行程,单位mm |
VSM17-Z-xxx-SS |
不锈钢 |
VSM17-Z-xxx-HR |
1μm分辨率 |
VSM17-Z-xX-LS |
2个限位开关 |
VSM17-Z-xxx-EA |
编码器(绝对) |
VSM17-Z-xxx-R |
抗辐射 |
|
|