| 概要 |
AML超高真空兼容垂直线性平移台，用于高达30kg的负载的z轴平移。
它们可以单独使用，也可以作为复杂运动系统的一部分使用，因为它们与VSM17模块化平台的范围兼容。VSM17-Z专为Z轴平移而设计，具有高负载能力。它们采用超高真空兼容材料和施工方法制造，并使用AML超高压步进电机。 |
| 特征 |
·50毫米起的标准行程
·1μm分辨率
·0.26μm重复性
·最大速度为5毫米/秒
·适用于1 x 10-10mBar
·可烘烤至200°C
·30kg中心承载能力
·特点AML D35.1步进电机
·可选择安装限位开关或光学编码器
·提供高分辨率、抗辐射和干润滑版本
·专为Z轴平移而设计
·与所有VSM17模块化阶段兼容
·可根据具体要求进行定制 |
| 技术概述 |
| 规格 |
单位 |
VSM17-Z-050 |
| 行程（可定制更长行程） |
mm |
50 |
| 整步分别率 |
μm |
1μm |
| 最大速度 |
mm/s |
5mm/s |
| 重复定位精度 |
μm |
0.26 |
| 中心负载能力 |
kg |
30 |
| 负载力矩 |
Nm |
80 |
| 转动，俯仰，偏载（无负载） |
μrad |
±78 |
| 转动，俯仰，偏载Compliance |
μrad/Nm |
±54 |
| 行程直线度 |
μm |
3μm /100mm |
| 步进电机 |
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D35.1 |
| 适用于真空度 |
mBar |
1x10-10mBar |
| 最大温度 |
℃ |
200°C（安装光学编码器时降至120°C） |
| MTBF-5kg负载，30%占空比 |
小时 |
15000 |
| MTBF包括电机 |
kg |
2.1 |
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| 尺寸 |
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| 订购代码 |
| VSM17-Z-xxx |
xxx=行程，单位mm |
| VSM17-Z-xxx-SS |
不锈钢 |
| VSM17-Z-xxx-HR |
1μm分辨率 |
| VSM17-Z-xX-LS |
2个限位开关 |
| VSM17-Z-xxx-EA |
编码器（绝对） |
| VSM17-Z-xxx-R |
抗辐射 |
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