超高真空、高低温、耐辐射位移台-LTV系列使用超高真空“V”型精密研磨导轨，通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的螺母、消间隙螺母、超高真空步进电机、超高真空兼容的材料以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑运动。可以直接搭建XYZ）
适用于真空环境1x10-8Pa，环境温度-65/-196℃~+175℃，耐辐照总剂量1x106Gy.
  
- 可以根据客户要求非标定制不同结构的真空/耐辐照位移台；(可加雷尼绍真空光栅或者真空耐辐照限位）
规格 |
单位 |
LTVL |
LTVH |
行程（可定制更长行程） |
mm |
50/ 100 / 150 /200 /250... |
50/ 100 / 150 /200 /250... |
整步分别率 |
μm |
5 |
1 |
最大速度 |
mm/s |
15 |
4 |
推荐真空环境中速度 |
mm/s |
2 |
0.8 |
重复定位精度 |
μm |
1 |
0.2 |
水平负载能力 |
kg |
20 |
20 |
负载力矩 |
Nm |
＜5 |
<5 |
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A |
kg |
3 |
10 |
间隙（使用消间隙螺母等） |
μm |
忽略不计 |
忽略不计 |
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载 |
μrad |
<25 |
<25 |
Roll Compliance |
μrad/Nm |
33 |
33 |
Pitch & Yaw Compliance |
μrad/Nm |
33 |
33 |
直线度 |
μm |
<1.3μm / 100mm |
<1.3μm / 100mm |
工作环境温度 |
℃ |
-65oC / -196oC ~ +175oC |
-65oC / -196oC ~ +175oC |
适用于真空度 |
mBar |
1x10-10mbar |
1x10-10mbar |
耐辐射总剂量 |
Gy |
1 x 106Gy |
1 x 106Gy |
烘烤温度 |
°C |
200℃ |
200℃ |
润滑方式 |
可选 |
超高真空润滑脂/固体润滑 |
超高真空润滑脂/固体润滑 |
MTBF-5kg负载,30%占空比 |
小时 |
15000 |
10000 |
超高真空、高低温、耐辐射位移台-LTX系列具有很高的刚性和精度，使用特殊处理的交叉滚子导轨，适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的螺母、消间隙螺母、超高真空步进电机、超高真空兼容的材料以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑精密运动。可以直接搭建XYZ）
适用于真空环境：1x10-8Pa，环境温度：-65/-196℃~+175℃，耐辐照总剂量：1x106Gy.
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- 可以根据客户要求非标定制不同结构的真空/耐辐照位移台；(可加雷尼绍真空光栅或者真空耐辐照限位）
规格 |
单位 |
LTXL |
LTXH |
行程（可定制更长行程） |
mm |
25/ 55 / 85... |
25/ 55 / 85... |
整步分别率 |
μm |
5 |
1 |
最大速度 |
mm/s |
15 |
4 |
推荐真空环境中速度 |
mm/s |
2 |
0.8 |
重复定位精度 |
μm |
1 |
0.2 |
水平负载能力 |
kg |
50 |
50 |
负载力矩 |
Nm |
＜20 |
<20 |
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A |
kg |
3 |
10 |
间隙（采用消间隙技术） |
μm |
忽略不计 |
忽略不计 |
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载 |
μrad |
<25 |
<25 |
Roll Compliance |
μrad/Nm |
5 |
5 |
Pitch & Yaw Compliance |
μrad/Nm |
2 |
2 |
直线度 |
μm |
<1.3μm / 100mm |
<1.3μm / 100mm |
工作环境温度 |
℃ |
-65oC / -196oC ~ +175oC |
-65oC / -196oC ~ +175oC |
适用于真空度 |
mBar |
1 x 10-10mbar |
1 x 10-10mbar |
耐辐射总剂量 |
Gy |
1 x 106Gy |
1 x 106Gy |
烘烤温度 |
°C |
200℃ |
200℃ |
润滑方式 |
可选 |
超高真空润滑脂/固体润滑 |
超高真空润滑脂/固体润滑 |
MTBF-5kg负载,30%占空比 |
小时 |
15000 |
10000 |
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