| 概要 |
Aerotech的HexGen®六足代表了下一代六自由度（DOF）定位性能。HEX300-230HL是适用于从传感器测试到同步加速器样品操作等许多应用的首要中负载超精密六足机器人。 |
| 特征 |
设计特点
六自由度定位，线性行程为60 mm，角行程为30°
具有保证定位精度规格的精密设计
最小增量运动在XYZ中达到20 nm，在θxθyθz中达到0.2µrad
灵活的配置和定制
可根据要求提供真空准备
强大的控制和软件，可实现工作和工具坐标系的可视化
性能
在运动系统的设计和规范中存在许多折衷。凭借其高速和亚微米精度，HEX300-230HL消除了对应用规范的妥协。Aerotech的HexGen六吊舱是一款能够保证定位精度低于5µm的六吊舱。
结构设计
HEX300-230HL由六个高精度支柱驱动，这些支柱采用精密预加载轴承、滚珠丝杠和驱动部件构建。与由直流刷伺服电机驱动的竞争六足不同，HEX300-230HL由Aerotech的交流无刷无槽伺服电机驱动，可大限度地延长设备寿命和性能。与使用皮带、齿轮头或柔顺联轴器的竞争性设计相比，将交流无刷伺服电机直接耦合到滚珠丝杠可以提高驱动刚度、更高的定位精度和更好的小增量运动（XYZ为20 nm，θxθyθz为0.2µrad）。经过特殊设计的支柱枢轴接头提供低摩擦和高刚度，增强了整体六足性能。
设计灵活性
HEX300-230HL的设计为用户优化了灵活性和定制选项。平台和底座可以很容易地通过用户特定的功能或安装模式进行修改。HEX300-230HL的特点是平台上有一个直径为100 mm的净孔，而底座上则有一个60 mm直径的净孔允许从底部进入工件。底座安装孔直接适用于英制或公制光学表。
提供真空选项
Aerotech六足可以真空制备，用于同步加速器样品或光学操作、半导体制造和检测或卫星传感器测试等苛刻的应用。
强大的控制和软件
驱动HEX300-230HL是Aerotech的Automation1基于软件的机器控制器。Automation1控制器基于多年在困难运动学应用方面的经验，通过直观的界面和实时运动可视化，可以在多个用户定义的坐标系中对六足机器人进行简单的编程和控制。Aerotech的免费HexGe尺寸软件提供了轻松模拟六足舱可用行程和工作空间的能力。 |
| 典型应用 |
同步加速器样品或光学操作、半导体制造和检测或卫星传感器测试等苛刻的应用 |
| 技术概述 |
| 比较 |
HEX300-230HL -Axis-X |
HEX300-230HL -Axis-Y |
HEX300-230HL -Axis-Z |
HEX300-230HL -Axis-A (θx) |
HEX300-230HL -Axis-B (θy) |
HEX300-230HL -Axis-C (θz) |
| 轴 |
X |
Y |
Z |
A (θx) |
B (θy) |
C (θz) |
| 行程(1) |
55 mm |
60mm |
25mm |
15deg |
15deg |
30 deg |
| 轴位置精度-全行程-标准(2)(3) |
±4 µm |
±4 µm |
±3 µm |
±10.3arcsec |
±10.3arcsec |
±5.2arcsec |
| 轴位置精度-全行程-ULTRA(2)(3) |
±1 µm |
±1 µm |
±0.75 µm |
±2.1arcsec |
±2.1arcsec |
±1.0arcsec |
| 轴位置精度-超过任意10mm（XYZ）或3°（ABC)-标准 |
±1.25 µm |
±1.25 µm |
±1.25 µm |
±2.6arcsec |
±2.6arcsec |
±1.5arcsec |
| 轴位置精度-超过任意10mm（XYZ）或3°（ABC)-ULTRA |
±0.75 µm |
±0.75 µm |
±0.5 µm |
±1.0arcsec |
±1.0arcsec |
±0.5arcsec |
| 分辨率(最小增量运动) |
20 nm |
20 nm |
20 nm |
0.04 arc sec |
| 双向重复性, pk-pk(2)(3) |
±0.75 µm |
±0.35µm |
±0.4arc sec |
| 单向重复性, pk-pk |
±0.35 µm |
±0.15 µm |
±0.2 arc sec |
| 最大速度(4) |
50 mm/s |
25 mm/s |
15 deg/s |
30 deg/s |
| 负载能力，所有位置垂直(5) |
45kg |
| 负载能力，所有位置水平(5) |
21kg |
| 保持能力，断电(6) |
14kg |
| 平台质量 |
12 kg |
| 驱动系统 |
精密关注丝杠，无刷伺服电机 |
| 反馈 |
非接触增量编码器 |
| 最大总线电压 |
80VDC |
| 限位开关 |
5V常闭位于（位于每个支柱上） |
| 材质 |
阳极氧化铝平台和底座；用于接头和内部支柱的钢 |
注释：
1. 行程是相互排斥的。有关工作空间尺寸的详细信息，请咨询我们。
2.
在移动平台上方50 mm的高度处用单轴移动进行测量。结果可能随载荷条件和工作点位置而变化。
3.
X、Y、Z性能认证为标准。X、 Y、Z、A、B、C性能通过ULTRA认证。
4.
需要选择具有足够电压和电流的适当放大器。
5.
中心荷载-参考荷载曲线。如果有效载荷超过发布的值，请与我们联系。
6.
水平底板，中心荷载-参考荷载曲线 |
| 尺寸 |
| 请见样本 |
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