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FA95e/FA130e激光加工系统

概要

直接驱动,多轴光子对准系统
Aerotech的增强型FiberAlign™FAe系列是新的高性能光子对准系统,结合了好的驱动和好的轴控制技术。它建立在原有FiberAlign系统的成功基础上,同时提高了精度并缩小了步长。模块化设计允许选择轴数,行程距离和负载能力,以完全适合应用,同时保持高速,分辨率和精度。
自动化生产
随着对准精度、对更高产量的追求和设备体积的增加,对精确、可靠和可重复的运动系统的需求变得越来越重要。由于组件和制造过程性质的快速变化,系统配置的灵活性变得必须。Aerotech的FAe系列响应并满足所有这些要求。
凭借强大的系统组件和数十年的精密运动经验,在24/7制造环境下的大批量生产已成为现实。
驱动技术
只有非接触式直接驱动技术才能为精密设备的大规模生产提供强大、准确、高速和高分辨率的定位。
Aerotech的驱动技术提供了好的分辨率,结合了高达160毫米的行程和高达200毫米/秒的定位速度。Aerotech的FAe系列采用超安静的线性驱动和好的控制技术,提供了好的位置可重复性,精度和位置稳定性,以满足更高产量的运动系统要求。
快速视觉对准和功率扫描算法
一个全面的软件工具包提供了对常用功能的方便访问。校准功能,如爬坡从功率表输入,栅格,正方形,或圆形螺旋扫描很容易通过标准功能实现。除了自动化工具外,操纵杆和屏幕上的慢跑控制都可用于手动操作。
FA95e或FA130e -哪一个适合你?
为了满足光电制造业不断发展的定位和加工需求,Aerotech提供了FA95e和FA130e。两种基本的三轴模型都可以扩展额外的轴,以满足在六个轴上控制运动的要求:X, Y, Z, T(偏航),P(俯仰),R(滚转)。
FA95e代表了紧凑的版本(FA130e体积的三分之一),是空间有限的好选择。附加轴可以提供高分辨率,高精度的旋转运动。
偏航旋转运动由Aerotech的ANT95-R直接驱动高分辨率旋转执行器提供,而俯仰和滚转运动由Aerotech的ANT-20G系列直接驱动高分辨率测角仪提供。旋转设备提供20度角范围,具有0.01弧秒步进分辨率。
FA130e在结构上与FA95e相似,但在稍大的外壳中提供更大的行程和更大的承载能力。X和Y轴的行程可选择高达160毫米。
FA130e还接受ANT95-R旋转致动器和ANT-20G测角仪,提供多达六轴的运动控制。

特征

3- 6轴光子对准
高分辨率(2nm),重复性(100nm),精度(300nm)
抗蠕变交叉滚子轴承
非接触式直驱直线电机
直接驱动旋转和角计选项
光栅,螺旋,或功率峰值算法
接口到工业标准的功率表

技术概述
Fae 单位 FA95e-25XY-25Z FA95e-25XY-50Z FA95e-50XY-25Z FA95e-50XY-50Z
行程 mm 25x25x25 25x25x50 50x50x25 50x50x50
精度 XY 标准 μm ±2.5
PLUS nm ±250
Z 标准 μm ±4
PLUS nm ±300
分辨率(最小增量运动) nm 2
双向重复精度 nm ±100
正交 XY 标准 arc sec 10
PLUS arc sec 3
Z 标准 arc sec 10
PLUS arc sec 10
最大速度 mm/s 200
就位稳定性 nm 2
最大连续力 XY N 7.75 7.75 9.5 9.5
Z N 7.75 9.5 7.75 9.5
负载能力 kg 3.0 3.0 5.0 5.0
运动质量 XY下 kg 3.0 3.7 4.0 4.6
XY上 kg 2.4 3.0 2.7 3.3
Z kg 0.46 0.46 0.52 0.52
平台质量 kg 3.7 4.3 5.1 5.7
材质 - 铝制基体,黑色硬漆面漆
MTBF平均故障间隔时间 h 20000

Fae 单位 FA130e-60XY-35Z FA130e-60XY-60Z FA130e-110XY-35Z FA130e-110XY-60Z
行程 mm 60x60x35 60x60x60 110x110x35 110x110x60
精度 XY 标准 μm ±2.5 ±4.0
PLUS nm ±250 ±300
Z 标准 μm ±3
PLUS nm ±300
分辨率(最小增量运动) nm 2
双向重复精度 nm ±100
正交 XY 标准 arc sec 10
PLUS arc sec 3
Z 标准 arc sec 10
PLUS arc sec 10
最大速度 mm/s 200
就位稳定性 nm 2
最大连续力 XY N 23
Z N 23
负载能力 kg 8.0
运动质量 XY下 kg 8.5 9.4 10.0 10.9
XY上 kg 5.8 6.7 6.4 7.3
Z kg 1.2 1.4 1.2 1.4
平台质量 kg 9.8 10.7 11.7 12.6
材质 - 铝制基体,黑色硬漆面漆
MTBF平均故障间隔时间 h 20000

Fae 单位 FA130e-160XY-35Z FA130e-160XY-60Z
行程 mm 160x160x35 160x160x60
精度 XY 标准 μm ±5
PLUS nm ±300
Z 标准 μm ±3
PLUS nm ±300
分辨率(最小增量运动) nm 2
双向重复精度 nm ±100
正交 XY 标准 arc sec 10
PLUS arc sec 3
Z 标准 arc sec 10
PLUS arc sec 10
最大速度 mm/s 200
就位稳定性 nm 2
最大连续力 XY N 23
Z N 23
负载能力 kg 8.0
运动质量 XY下 kg 11.2 12.1
XY上 kg 6.7 7.6
Z kg 1.2 1.4
平台质量 kg 13.2 14.1
材质 - 铝制基体,黑色硬漆面漆
MTBF平均故障间隔时间 h 20000
注释:
1. 所列值为每轴值。
2. 需要选择合适的放大器,具有足够的电压和电流。
3. 原位稳定性表为3西格玛值。
4. z轴平衡送风必须清洁、干燥,过滤至0.25 μm及以上。建议使用纯度为99.9%的氮气。供给压力是由运载火箭的载荷量决定的。
5. -PLUS要求使用Aerotech控制器。
注:为确保在较长一段时间内达到规格和可重复性,环境温度必须控制在0.25°C/24小时内。如果这是不可能的,替代产品是可用的。请咨询Aerotech。
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