表面测量运动平台
高精度多轴运动平台
利用Aerotech的表面测量运动平台(SMP)，将表面测量技术提升到一个新的水平。SMP是一个完整的多轴运动系统，专门为表面测量应用提供好的运动平台。SMP经过优化，可在2D和3D轮廓中提供大的灵活性，具有高的纳米分辨率精度，减少了加工时间和小的占地面积。
致动器和ANT-20G测角仪，提供多达六轴的运动控制。

大的灵活性
•2D和3D轮廓
-测量球面、非球面和圆柱形(应用示例:精密光学元件测量)
-扫描或点对点运动配置文件
—支持多种配置
•运动和传感器控制器之间的通用高速电气接口
•开放式架构软件，集成各种传感器，如白光或多波长干涉仪，相机系统或电容探头
•易于使用，先进的运动算法简化运动轮廓生成
高的精度
•轴在低纳米范围内的重复性
•纳米级小增量运动(分辨率)
•平滑运动，即使在非常低的速度
缩短处理时间
•与传统的笛卡尔系统相比，可节省高达40%的测量时间
•运动和传感器控制器之间的实时通信提供测量和位置数据的同步
•测量过程中的快速数据访问和智能数据管理
小的空间
•与笛卡尔系统相比，节省60%的空间