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VSM17-R旋转台
概要

AML超高真空兼容旋转台采用超高真空兼容材料和构造方法在ISO 7洁净室中制造，并使用D35.1超高压步进电机。
VSM17-R级采用精密十字滚子环轴承系统，提供高旋转精度，能够承受各个方向的负载。它有一个18毫米的净孔径，防齿隙正齿轮传动，可以选择安装光学超高压兼容旋转编码器。
特征

·360°旋转范围
·0.1°至0.005°分辨率
·优于单向分辨率单向重复性
·最高100转/分的最大负载速度
·最大扭矩可达8Nm
·适用于1x10-10 mBar
·可烘烤至200°C
·100kg中心负载能力
·特点D35.1步进电机
·可选择安装限位开关或光学编码器
·高分辨率和可用的抗辐射版本
·可直接堆叠用于XYZ方向
·与VSM17模块化平台兼容
·可根据具体要求进行定制
·使用NyeTorr®6300润滑脂润滑
·360°旋转范围
·0.1°至0.005°分辨率
·优于单向分辨率单向重复性
·最高100转/分的最大负载速度
·最大扭矩可达8Nm
·适用于1x10-10 mBar
·可烘烤至200°C
·100kg中心负载能力
·特点D35.1步进电机
·可选择安装限位开关或光学编码器
·高分辨率和可用的抗辐射版本
·可直接堆叠用于XYZ方向
·与VSM17模块化平台兼容
·可根据具体要求进行定制
·使用NyeTorr®6300润滑脂润滑
技术概述
规格 单位 VSM17-R-3K6 VSM17-R-72K
旋转范围 ° 360 360
整步分别率 ° 0.1 0.005
每转步数 - 3600 72000
最大速度 rpm 100 4
电机步进频率 kHz 5 5
减速类型 - 正传动 蜗轮蜗杆
中心额定负载 kg 100 100
最大扭矩 Nm 1 8
启动扭矩 mNm 79 -
齿隙（无负载） ° 小于分辨率 0.2
同心度 μm ±5 ±8
适用于真空度 mBar 1x10-10mBar
最大温度 ℃ 200°C（安装光学编码器时降至120°C）
孔径 mm 18
电机 - D35.1
包括电机重量 kg 1.7 1.66
尺寸
VSM17-R-3K6
VSM17-R-72K
订购代码
VSM17-R-xxx 旋转台
VSM17-R-xxx-LS 带限位开关
VSM17-R-xxx-EA 带编码器（绝对）
VSM17-R-xxx-R 抗辐射
 
 
产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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