AML超高真空兼容旋转台采用超高真空兼容材料和构造方法在ISO 7洁净室中制造,并使用D35.1超高压步进电机。 VSM17-R级采用精密十字滚子环轴承系统,提供高旋转精度,能够承受各个方向的负载。它有一个18毫米的净孔径,防齿隙正齿轮传动,可以选择安装光学超高压兼容旋转编码器。
·360°旋转范围 ·0.1°至0.005°分辨率 ·优于单向分辨率单向重复性 ·最高100转/分的最大负载速度 ·最大扭矩可达8Nm ·适用于1x10-10 mBar ·可烘烤至200°C ·100kg中心负载能力 ·特点D35.1步进电机 ·可选择安装限位开关或光学编码器 ·高分辨率和可用的抗辐射版本 ·可直接堆叠用于XYZ方向 ·与VSM17模块化平台兼容 ·可根据具体要求进行定制 ·使用NyeTorr®6300润滑脂润滑