高性能单枢轴点振镜
Aerotech的AGV-SPO单枢轴点振镜扫描仪为传统的双镜振镜扫描仪提供了替代方案。源于流行的AGV-HPO扫描仪，AGV-SPO为关键的激光微加工应用提供了更大的视野和更少的光斑畸变。
大视野与小的斑点失真
我们的光学设计有效地控制了X和Y扫描仪运动时光束入口瞳孔的重合，增加了扫描仪系统的有效数值孔径。这种设计直接实现了给定焦距的更大视野，并减少了整个工作区域的光斑失真。这些优势意味着AGV-SPO能够更快地处理更大的零件，并且具有更高的一致性。
设计配置
AGV-SPO可选择光学涂层和聚焦光学器件，以支持各种常用的激光波长和焦距。为了支持其他需求，Aerotech可以根据要求为AGV-SPO提供定制光学元件和光学安装功能。AGV-SPO可以配置风冷反射镜，水冷电机，或两者都配置。这些主动冷却功能有助于在激光引起的热干扰以及侵略性运动轮廓存在的情况下保持工作平面的精度。
高级编程功能
AGV-SPO利用了Aerotech所有的运动和位置同步输出(PSO)功能，这些功能已开发用于传统galvo和伺服平台的激光加工应用。轮廓功能，如加速度限制，可用于自动降低速度在急转弯或小半径，以尽量减少超调。激光可以基于PSO反射镜的位置反馈触发，以确保在扫描仪改变速度时光斑重叠一致。Aerotech的无限视场(IFOV)功能无缝地结合了伺服和扫描仪的运动，扩展了扫描仪在伺服阶段整个行程范围内的标记能力，消除了在更传统的移动-曝光-重复过程中可能出现的拼接错误。 |
