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ABL1500气浮轴承直线电机平台/最大500mm/±0.05μm
概要
制造和检测过程对定位精度的要求超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承直线台具有完全主动的预载、高的刚度和练好的几何特性,专为满足这些需求而设计。
特征

• 专为高性能扫描和检查而设计
• 所有空气轴承表面上的主动空气预载荷
• 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率
• 重载下的高刚度和出色的几何性能
• 行程高达500毫米
高动态性能的空气轴承设计:
ABL1500在垂直表面和水平表面上都具有空对空预载荷。相反的薄膜压力保持轴承的标称间隙公差。这种设计,加上将负载分布在大表面面积上的大空气轴承表面,导致具有良好刚度的级别,对于重负载或偏置负载是理想的。
制造技术使平台具有良好的几何特征。空气轴承具有固有的平均效应,可大限度地提高性能。该薄膜将填充小的表面空隙并允许其它不规则性。这一特性产生了卓越的俯仰、滚动、偏航、直线度和平面度规格。
线性电机驱动:
这个位移台的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。Aerotech作为电机制造商的历史和经验在这一设计中得到了体现。BLMC采用了无铁芯的施力装置,这意味着没有齿槽效应和吸引力,从而实现了无与伦比的运动平稳性。能够产生高推力和速度,BLMC代表了推力和性能的最终结合。
零维护:
我们的完全非接触式空气轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置确保了Aerotech设备在高性能水平下的多年免维护运行。由于移动元件之间没有机械接触,ABL1500不会随着时间的推移而出现磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的,因为没有润滑,只有清洁,干燥的气体空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。
电缆管理:
我们精心优化电缆弯曲半径,以确保多年无故障运行。万一出现故障,Aerotech的模块化设计使电缆更换快速简单,停机时间最短。我们包括所有客户要求的电缆、空气软管等。在我们的CMS包中,以便于集成到最终系统中。两端完全连接,便于集成到客户的机器中。

技术概述
ABL1500 单位 ABL1500-050 ABL1500-100 ABL1500-200 ABL1500-300 ABL1500-400 ABL1500-500
行程 mm 50 100 200 300 400 500
驱动系统 - 直线电机
最大行程速度(1) m/s 2
最大线性加速度(无负载) m/s2 2g-20m/s2
最大负载(2) 水平 kg 35
侧向 kg 25
精度(1) E1编码器 校准 μm ±0.3 ±0.3 ±0.5 ±0.5 ±0.6 ±0.6
标准 μm ±2.0 ±4.0 ±8.0 ±12.0 ±16.0 ±20.0
E3编码器 校准 μm ±0.2 ±0.2 ±0.4 ±0.4 ±0.5 ±0.5
标准 μm ±1.0 ±2.0 ±5.0 ±5.0 ±5.0 ±5.0
重复精度(1) E1编码器 μm ±0.1 ±0.2 ±0.2 ±0.2 ±0.3 ±0.3
E3编码器 μm ±0.05 ±0.05 ±0.1 ±0.15 ±0.2 ±0.2
直线度(1) μm ±0.25 ±0.4 ±0.5 ±0.75 ±1.5 ±2.0
平整度(1) μm ±0.25 ±0.4 ±0.5 ±0.75 ±1.5 ±2.0
俯仰 arc sec ±0.5 ±1 ±2 ±3 ±4 ±5.0
滚摆 arc sec ±0.5 ±1 ±2 ±3 ±4 ±5.0
偏航 arc sec ±0.5 ±1 ±2 ±3 ±4 ±5.0
标称平台重量 kg 14.7 16 18.6 21.3 23.9 26.5
滑块质量 kg 5.1 5.1
工作压强(6) psi 80±5
耗气量(6)(7) SLPM 24-30@551kPa
结构 - 铝制主体
平均故障间隔时间 h 30000
注意事项:
1.基于平台的最大速度;最大应用速度可能受系统数据速率和系统分辨率的限制。
2.XY配置的最大负载为 10.0 kg。
3.具有 Aerotech 控制和 -PL2 计量选项的值。
4.取决于平台安装表面的平整度。
5.为了保护空气轴承免受欠压,需要一个连接到控制器急停输入的在线压力开关。
6.供气必须清洁,干燥至0°F露点,过滤至0.25μm或更好;推荐纯度为99.99%的氮气。
7.单轴的最大预期空气消耗量。
8.规格适用于单轴系统,测量在桌面上方 25 mm 处。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。多轴或非标准应用请联系我们。
尺寸
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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