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ABL9000气浮轴承直线电机平台/最大1200mm/±0.1μm
概要
ABL9000旨在满足晶圆、平板显示器以及光学检测和制造的严格要求,可提供异常平稳和精确的平面运动。
特征

• 所有轴上的完全预紧力
• 双线性电机驱动Y轴
• 行程至 1.2 米 x 1.2 米
• 线性编码器或激光干涉仪反馈
• 主动偏航控制
Aerotech 在工程和制造世界上高性能的运动系统方面有着悠久的历史,可直接满足客户的关键应用需求。这些努力有助于实现包括半导体、医疗和军事/航空航天在内的众多行业的关键技术。这种悠久的历史和经验最终促成了ABL9000空气轴承运动平台的开发。
空气轴承设计
ABL9000在垂直和水平表面上都包含主动预紧力。相反的薄膜压力保持轴承标称间隙公差。除了将载荷分布在大表面积上的大空气轴承表面外,这种设计还产生了刚度的平台,非常适合重载荷或偏置载荷。
制造技术造就了几何特征的平台。空气轴承具有固有的平均效应,可大限度地提高性能。薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。这一特性产生了卓越的俯仰、横滚、偏航、直线度和平整度规格。
直线电机驱动
这个阶段背后的驱动力是Aerotech的BLM系列无刷线性伺服电机。Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验反映在这一设计中。BLM 采用无铁芯推力器,这意味着齿槽效应为零,没有吸引力,从而产生好的的运动平滑度。BLM能够产生高力和速度,代表了动力和性能的结合。
零维护
我们的全非接触式空气轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置可确保在 Aerotech 设备预期的高性能水平下实现多年免维护运行。由于移动元件之间没有机械接触,ABL9000 不会随着时间的推移而磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的,由于没有润滑 - 只有清洁,干燥的气体 - 空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。
电缆管理
我们精心优化电缆弯曲半径,以确保多年的无故障运行。万一发生故障,Aerotech 的模块化设计使电缆更换变得快速简便,停机时间最短。为了便于集成到最终系统中,我们将所有客户需要的电缆、空气软管等包含在我们的 CMS 捆绑包中。两端完全连接,可轻松集成到客户的机器中。

技术概述
ABL9000 单位 ABL9000-0300-0300 ABL9000-0500-0500 ABL9000-0750-0750 ABL9000-1000-1000 ABL9000-1200-1200
行程 mm 300x300 500x500 750x750 1000x1000 1200x1200
驱动系统 - 直线电机
总线电压 VDC 80
反馈 - 非接触式线性编码器
最大线性速度(无负载) mm/s 500
最大加速度 m/s2 1g-10m/s2
最大负载 kg 30 125
精度 高精度线性编码器反馈 μm ±0.5 ±0.75 ±0.85 ±1 ±1.25
激光干涉仪反馈 μm 标准±10ppm;
补偿±1.5ppm
联系我们,了解更多详情
重复精度 μm ±0.1 ±0.1 ±0.2 ±0.2 ±0.2
直线度和平整度 最大偏差 μm ±0.5 ±1.5 ±2.0 ±2.5 ±3.0
俯仰、滚动和偏航 arc sec 2 3.5 4.5 5.5 6
标称平台重量   kg 320 690 3200 4130 5200
滑块质量 移动平台 kg 9.5 9.5 35 35 35
移动龙门 kg 44 57 120 130 140
正交性 arc sec 2 3 3.5 4 5
工作压强 kPa 551.6
耗气量 SLPM 45 45 85 85 85
结构 - 铝制主体
完成 - 硬质涂层(62洛氏硬度)

注意事项:
1.行程可以定制以满足特定应用的要求。有关其他旅行选择,请咨询 Aerotech。
2.80 VDC 总线限制,带标准带状电缆。圆形电缆可提供高达 320 VDC 的电压。
3.基于载物台能力的最大速度;最大应用速度可能受到系统数据速率和系统分辨率的限制。
4.基于承载能力的最大载荷;最大应用程序负载可能受到加速要求的限制。
5.提供航空技术控制器和校准。
6.需要环境补偿。
7.为了保护空气轴承免受欠压影响,建议使用与运动控制器 ESTOP 输入相连的直列式压力开关。
8.空气供应必须清洁,干燥至0°F露点,并过滤至0.25μm或更好;推荐纯度为99.9%的氮气。
9.规格适用于单轴系统,测量在桌面上方 25 mm。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。多轴或非标准应用请联系我们。

 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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