设计特点
•通过2米/秒的扫描速度和5g加速实现大吞吐量
•更快的周转时间和最小化的结算时间
•主动偏航控制
•线性编码器或激光干涉仪反馈
•行程1.2米乘1.2米
Aerotech在设计和制造世界上高性能的运动系统方面有着悠久的历史，可以直接满足客户的关键应用要求。这些努力有助于实现半导体、医疗和军事/航空航天等众多行业的关键技术。这一历史和经验最终促成了PlanarHD“高动态”空气轴承运动平台的开发。
PlanarHD设计特点
PlanarHD空气轴承级经过专门设计，可提供高达2米/秒的扫描速度和5克的加速度，从而大限度地提高吞吐量。该设计采用了高度工程化的机械结构，可增加空气轴承刚度并减少运动质量。此外，力中心和质心的位置经过优化，以消除可能导致吞吐量减少误差运动的寄生力。
为了进一步提高平台性能，PlanarHD在X轴和Y轴上都使用了空气对空气横向预载。这种预加载方法使用相对的正压空气膜来平衡轴承升力和预加载力。动态轴承力平衡方法使PlanarHD具有大刚度，从而提供快的周转和小的沉降时间。
与仅依赖单个真空预加载龙门架轴的单片L型设计不同，Aerotech龙门架轴是一种双空气轴承H桥设计，包含双线电机和双线编码器。这进一步提高了转向性能，同时提供了正交性/偏航控制的额外好处。快的转弯意味着高的吞吐量和小的载物台占地面积，而正交性控制意味着工艺带在整个晶片表面上平行。
反馈系统
提供线性编码器和激光干涉仪两种选择。PlanarHD包含三个高精度线性编码器，一个用于桥架轴，两个用于龙门架轴，作为标准。每个编码器的安装应使标尺中心线尽可能靠近工作平面，以减少阿贝误差。编码器材料和安装方法都经过了选择，以解决热引起的精度误差。
驱动系统
PlanarHD性能的关键是使用Aerotech的BLM系列无刷线性伺服电机。BLM系列直线电机采用无铁加力器，在没有吸引力的情况下提供零齿槽运动，从而实现平稳的运动。此外，BLM系列线性电机的每单位体积产生高的力。PlanarHD还包括空气和水冷却热管理选项。
高级控制体系结构
PlanarHD与Aerotech的Automation 3200控制系统相连。Automation 3200是一个100%数字系统，具有高性能FireWire®网络驱动器。全数字化架构使优化电流、速度和位置伺服回路实现性能成为可能。轨迹生成功能，如多块前瞻，可大限度地减少快速转弯过程中的几何误差，而我们的位置同步激光发射输出（PSO）功能可自动调整激光脉冲频率，以匹配载物台速度，从而保持系统性能。
Aerotech的ETM（增强吞吐量模块）选项通过直接测量机座的不必要运动并将其反馈给控制器，有助于提高PlanarHD等高动态运动系统的定位性能。通过与Dynamic Controls Toolbox和Aerotech控制器协同工作，ETM提高了移动和稳定时间以及仿形性能，增加了现有和新机器的吞吐量，并大大减少了机架运动对伺服系统的影响。 |
