直接驱动、无槽、无刷伺服电机
零齿槽电机具有好的速度稳定性
好的误差运动和抖动性能
直接耦合、高精度旋转编码器
低剖面平面设计
无机械接触
紧凑型包装
对ABRS系列直接驱动旋转载物台的设计进行了优化，以大限度地降低载物台高度。平台的低姿态降低了系统的有效工作高度，大限度地减少了与“堆叠”相关的错误。除了整体高度较低外，ABRS系列还提供了一个清晰的孔径，可用于产品馈通、激光束传输、电缆间隙或特定应用要求。
好的机械设计
ABRS设计具有大的空气轴承表面，具有高刚度和高承载能力，不仅产生好的轴向和径向误差运动，还产生好的倾斜误差运动。由此产生的端面误差运动明显好其他旋转空气轴承工作台和主轴，极大地有利于需要跟平面性能的应用。
无刷直接驱动
为了大限度地提高定位性能，ABRS系列采用Aerotech的s系列无槽无刷电机。该电机采用好的磁路设计，以小的热量产生高扭矩输出。无槽设计本质上是零齿槽和无扭矩波动。这使得ABRS级非常适合在低速或高速下需要平滑扫描速度的应用。
精确定位
光学编码器是ABRS的标准配置。当与Aerotech的反馈乘法器和控制器相结合时，可以实现<0.03弧秒的分辨率。
自定义设计
ABRS的自定义版本可用于速率表和惯性制导试验台应用。 |
