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MX80L机械轴承直线电机平台/最大200mm/±1.4μm

概要

MX80L是一个高精度微型线性位置平台，该产品包括铁芯线性电机，集成高分辨率反馈和交叉滚柱导轨。尺寸只有80mm宽，25mm高，它提供高达200mm的行程和78N的负载能力。
MX80L是一种微型，高精度线性位置平台。它使用了机械臂蠕变或标准交叉滚子轴承作为引导，并使用铁芯线性电机来驱动它。 MX80L具有紧凑的设计 - 宽度仅为80mm，高度为25mm。其将相关的部件整合在这个微型平台上：如平台导向，线性电机，线性编码器，限制和零位传感器 - 使其成为空间受限的应用场合-如生命科学或光学领域的电动位置平台的理想选择。同时MX80L可以轻松地配置成为多轴产品，并提供标准过渡支架。

特征

MX80L系列有铁芯的交叉滚子导轨式微型电动位置平台;标准功能及配件：
•框架宽度为80 mm
•五个标准行程，25，50，100，150和200 mm
•重复位置精度为+/- 0.4微米
•集成的光学编码器分辨率为1.0,0.5,0.1,0.02和0.01微米分辨率
•最大速度为2000 mm / sec
•可选4或8极线性电机传动系统选件
•最大有效载荷78 N
•最大推力为24 N
•集成零位和极限感应
•提供标准多轴配置
•具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据

技术概述

系列		MX80LP				MX80LS
行程	mm	25	50	100	150	25	50	100	150	200
宽x高x长	mm	80x25x102	80x25x102	80x25x176	80x25x226	80x25x102	80x25x102	80x25x176	80x25x226	80x25x276
驱动方式	-	直线电机
加速度	g	4	4	4	3	5	5	5	4	3
平面度	μm	4	4	5	6	6	6	10	12	14
材质	-	钢	钢	钢	钢	钢	钢	钢	钢	钢
峰值推力	N	12	12	24	24	12	12	24	24	24
连续推力	N	4	4	8	8	4	4	8	8	8
额定负载	kg	8	8	6	8	8	8	8	8	8
最大速度	5.0μm	1100	1500	2000	2000	1100	1500	2000	2000	2000
(mm/s)	1.0μm	1100	1500	2000	2000	1100	1500	2000	2000	2000
	0.5μm	1100	1500	1500	1500	1100	1500	1500	1500	1500
	0.1μm	300	300	300	300	300	300	300	300	300
	0.02μm	60	60	60	60	60	60	60	60	60
	0.01μm	30	30	30	30	30	30	30	30	30
定位精度	5.0μm	13	14	15	15	25	30	35	35	35
(μm)	1.0μm	5	6	7	7	15	20	25	25	25
	0.5μm	4	5	6	6	12	15	20	20	20
	0.1μm	3	4	5	5	12	15	20	20	20
	0.02μm	3	4	5	5	12	15	20	20	20
	0.01μm	3	4	5	5	12	15	20	20	20
重复精度	5.0μm	±10.0	±10.0	±10.0	±10.0	±10.0	±10.0	±10.0	±10.0	±10.0
(μm)	1.0μm	±2.0	±2.0	±2.0	±2.0	±2.0	±2.0	±2.0	±2.0	±2.0
	0.5μm	±1.0	±1.0	±1.0	±1.0	±1.0	±1.0	±1.0	±1.0	±1.0
	0.1μm	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5
	0.02μm	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4
	0.01μm	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4	±0.4
平台重量	g	590	590	1027	1345	475	475	875	1125	1370
滑块重量	g	282	282	509	676	213	213	405	537	695

尺寸

详见样本



	产品样本