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机械轴承直线电机平台
PRO115LM/最大0.4m/±0.4μm
PRO165LM/最大0.6m/±0.4μm
PRO190LM/最大0.6m/±0.3μm
PRO225LM/最大0.4m/±0.3μm
PRO280LM/最大1m/±0.4μm
PRO560LM/最大1m/±0.4μm
ECO165/最大0.6m/±0.75μm
ECO225/最大0.8m/±0.75μm
PlanarDL/XY两轴/±0.1μm
PlanarDLA/XY两轴/±0.25μm
ANT95L/最大100mm/±75nm
ANT95XY/XY两轴/±75nm
ANT130L/最大210mm/±75nm
ANT130XY/XY两轴/±75nm
ANT180L/最大360mm/±100nm
400LXR/最大3m/±1μm
BR/最大2.7m/±1.5μm
TR/最大2.7m/±1.5μm
mSR/最大0.5m/±0.1μm
MX80L/最大200mm/±0.4μm
北京润诚时代科技有限公司
电话:010-84450370 传真:010-84450371
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