北京润诚时代科技有限公司

北京润诚时代科技有限公司
电话:010-84450370
邮箱:runcheng_emd@sina.com
京ICP备09072358号-1

产品>传动与定位>定位台>机械轴承直线电机平台>

mSR机械轴承直线电机平台/最大500mm/±0.1μm

概要

最大化你的设计,而不是他的足迹
仪器制造者需要一个小体积的运动平稳的定位台,mSR在两个框架尺寸(80和10mm宽)提供亚微米级精度的线性定位台.
mSR系列是精密加工、方导轨制成导向的两个不同的直线伺服电机驱动（无铁芯和有铁芯直线电机）精密定位平台。
多种线性编码器可选配置，满足多种应用需求。
相同外形，两个选项：
·精密级mSR是最精确的标准定位平台，行程50mm实现重复精度100nm和精度5μm。
·经济型的标准版利用磁性编码器技术，主要针对不要求精密级水平的应用，替代类似于滚珠丝杠驱动的场合。
这些定位平台是各种应用的理想选择，包括在数字病理设备的成像系统、计量仪器、半导体或电子制造。
mSR是MX80L的补充型定位平台，允许用户定制。
由于其紧凑的设计，mSR是生命科学中理想的应用定位解决方案。典型的应用范围，从成像系统进行扫描操作来确定生物标志物，为高通量微板的处理，在细胞疗法需要细胞的选择和高精度位置补充再生医学技术的应用。
在设计时，考虑典型仪器的法规，mSR符合CE和ROHS要求的所有版本。
同样，mSR由于其低剖面和精度性能，在电子制造业也是理想的应用。典型的应用如半导体计量范围，晶圆划片。

特征

·两个微型框架：mSR80（80x25mm）、mSR100（100x35mm）
·两根高精度方导轨
·六种直线编码器反馈选项
·两个不同类型的直线电机技术
·标准行程范围，从25mm到500mm
·集成了可调节的零点和限位
·常见的螺纹安装孔和定位销孔
·符合CE和RoHS
·标准磁平衡（Msr80-25mm行程）

技术概述

mSR080主要技术指标：

参数	单位	行程
参数	单位	25	35	50	100	150
框架（宽x高x长）	mm	80x25x110	80x25x120	80x25x165	80x25x265	80x25x365
最大负载	Kg	4	4	8	8	8
峰值推力	N	12	12	24	24	24
连续推力	N	4	4	8	8	8
加速度	G	3	3	3	3	3
标准级平面度	μm	±6	±6	±8	±10	±15
精密级平面度	μm	±3	±3	±4	±5	±10
滑块质量	Kg	0.2365	0.2365	0.3065	0.4115	0.519
平台质量	Kg	0.525	0.5815	0.7395	1.0665	1.403
磁性编码器-1微米分辨率
最大速度	mm/s	1100	1500	2000	2000	2000
双向重复定位精度	μm	±5.0
定位精度	μm	20	20	30	40	40
1μm分辨率光栅反馈
最大速度	mm/s	1100	1500	2000	2000	2000
双向重复定位精度	μm	±2.0
定位精度	μm	9	9	9	11	13
定位精度(矫正)	μm	5	6	6	6	7
0.1μm分辨率光栅反馈
最大速度	mm/s	300	300	300	300	300
双向重复定位精度	μm	±0.3
定位精度	μm	8	8	8	10	12
定位精度(矫正)	μm	4	5	5	5	6
0.01μm分辨率光栅反馈
最大速度	mm/s	30	30	30	30	30
双向重复定位精度	μm	±0.1
定位精度	μm	8	8	8	10	12
定位精度(矫正)	μm	4	5	5	5	6

mSR100主要技术指标：

参数	单位	行程
		25	50	50	100	100	150	150	200	200	250	250
		LS	LS	LD	LS	LD	LS	LD	LS	LD	LS	LD
最大负载	kg	12	12	12	12	12	12	12	12	12	12	12
峰值推力	N	33	33	50	33	50	33	50	33	50	33	50
连续推力	N	11	11	16.7	11	16.7	11	16.7	11	16.7	11	16.7
动态循环	%	100
加速度（无负载）	G's	3
标准级平面度	μm	±5	±5	±5	±8	±8	±8	±8	±8	±8	±10	±10
精密级平面度	μm	±3	±3	±3	±4	±4	±4	±4	±4	±4	±5	±5
滑块质量	kg	0.34	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46
平台质量	kg	1.06	1.21	1.57	1.45	1.80	1.68	2.03	1.91	2.35	2.23	2.59
磁性编码器-1微米分辨率
最大速度	mm/s	1100	1500	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±5.0
定位精度	μm	40	40	40	80	80	80	80	100	100	100	100
光学编码器-1微米分辨率
最大速度	mm/s	1100	1500	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±2.0
定位精度	μm	10	10	10	10	10	10	10	12	14	14	14
定位精度（修正后）	μm	6	6	6	6	6	7	7	7	7	8	8
光学编码器-0.1微米分辨率
最大速度	mm/s	300	300	300	300	300	300	300	300	300	300	300
双向重复定位精度	μm	±0.4
定位精度	μm	9	9	9	9	9	9	9	11	11	13	13
定位精度（修正后）	μm	5	5	5	5	5	6	6	6	6	7	7
光学编码器-0.01微米分辨率
最大速度	mm/s	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30
双向重复定位精度	μm	±0.2
定位精度	μm	8	8	8	8	8	8	8	10	10	12	12
定位精度（修正后）	μm	4	4	4	4	4	5	5	5	5	6	6
BiSS-C绝对值编码器-0.05微米分辨率
最大速度	mm/s	1100	1500	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±0.4
定位精度	μm	9	9	9	9	9	9	9	11	11	13	13
定位精度（修正后）	μm	5	5	5	5	5	6	6	6	6	7	7

参数	单位	行程
		300	300	350	350	400	400	450	450	500	500
		LS	LD	LS	LD	LS	LD	LS	LD	LS	LD
最大负载	kg	12	12	12	12	12	12	12	12	12	12
峰值推力	N	33	50	33	50	33	50	33	50	33	50
连续推力	N	11	16.7	11	16.7	11	16.7	11	16.7	11	16.7
动态循环	%	100
加速度（无负载）	G's	3
标准级平面度	μm	±10	±10	±12	±12	±16	±16	±20	±20	±20	±20
精密级平面度	μm	±5	±5	±6	±6	±8	±8	±10	±10	±12	±12
滑块质量	kg	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46	0.34	0.46
平台质量	kg	2.47	2.82	2.7	3.05	2.93	3.37	3.25	3.6	3.48	3.84
磁性编码器-1微米分辨率
最大速度	mm/s	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±5.0
定位精度	μm	100	100	100	100	100	100	100	100	100	100
光学编码器-1微米分辨率
最大速度	mm/s	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±2.0
定位精度	μm	16	16	18	18	20	20	2	22	24	24
定位精度（修正后）	μm	8	8	9	9	9	9	10	10	10	10
光学编码器-0.1微米分辨率
最大速度	mm/s	300	300	300	300	300	300	300	300	300	300
双向重复定位精度	μm	±0.4
定位精度	μm	15	15	17	17	19	19	21	21	23	23
定位精度（修正后）	μm	7	7	8	8	8	8	9	9	9	9
光学编码器-0.01微米分辨率
最大速度	mm/s	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30
双向重复定位精度	μm	±0.2
定位精度	μm	14	14	16	16	18	18	20	20	22	22
定位精度（修正后）	μm	6	6	7	7	7	7	8	8	8	8
BiSS-C绝对值编码器-0.05微米分辨率
最大速度	mm/s	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3000
双向重复定位精度	μm	±0.4
定位精度	μm	15	15	17	17	19	19	21	21	23	23
定位精度（修正后）	μm	7	7	8	8	8	8	9	9	9	9

尺寸

详见样本



	产品样本