| 概要 |
紧凑型设计中的鲁棒性能
ATS100级提供了良好的刚度和长期稳定性，这要归功于采用精密滚珠丝杠和线性运动导向轴承的箱式设计。紧凑的设计使ATS100级易于集成在龙门桥、机器外壳和真空室等密闭空间中。ATS100级由一系列带集成反馈编码器的无刷旋转电机驱动，将为您的工艺提供流畅、精确的运动性能。此外，ATS100级具有防止污染影响的功能，确保了长寿命的高可靠性操作。 |
| 特征 |
提供亚微米定位精度和双向重复性，可达0.3微米
得益于轻薄紧凑的外形，可轻松集成
提供良好的刚性和稳定性
使用一体式波纹管通道盖防止污染
支持行程长度不超过200 mm
提供真空兼容配置 |
| 典型应用 |
ATS100平台是各种精密工业和实验室应用的理想选择，包括：
测量、检查和显微镜
半导体晶片测试与制造
激光微加工
精密点胶
光学操作和处理
先进制造和精密微机械加工
龙门Z轴应用 |
| 技术概述 |
| ATS100 |
单位 |
ATS100-050 |
ATS100-100 |
ATS100-150 |
ATS100-200 |
| 行程 |
mm |
50 |
100 |
150 |
200 |
| 最大速度(2) |
mm/s |
100 |
100 |
100 |
100 |
| 负载能力 |
水平 |
kg |
25 |
25 |
25 |
25 |
| 垂直 |
kg |
10 |
10 |
10 |
10 |
| 侧向 |
kg |
10 |
10 |
10 |
10 |
| 精度 |
已校准 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
±1.0 |
| 标准 |
μm |
±8 |
±9 |
±9 |
±10 |
| 双向重复性 |
已校准 |
μm |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
| 标准 |
μm |
±0.7 |
±0.7 |
±0.7 |
±0.7 |
| 平面度和直线度 |
μm |
±1.0 |
±2.0 |
±2.0 |
±3.0 |
| 仰俯和偏航 |
arc sec |
5 |
8 |
10 |
12 |
| 平台质量 |
不含电机 |
kg |
1.6 |
1.8 |
1.9 |
2.1 |
| 含电机 |
kg |
2.7 |
2.9 |
3.0 |
3.2 |
| 材料 |
- |
铝质/阳极氧化 |
注释：
1.过大的占空比可能会影响级精度。
2.有效载荷规格适用于单轴系统，基于滚珠丝杠和轴承2500公里的行驶寿命。
3.基于Aerotech控制器。
4.规格适用于单轴系统，在滑块上方25mm处测量。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。
多轴或非标准应用请咨询我们 |
| 尺寸 |
| 详见样本 |
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