TS150系列滚珠丝杠驱动线性载物台提供了半导体晶片测试和制造、自动显微镜检查系统和精密微机械应用所需的高分辨率和可重复性。
结构特点
ATS150系列载物台由特殊铸造铝合金加工而成，具有高强度重量比和长期稳定性。基座采用箱形设计，具有良好的刚度和稳定性。
ATS150系列载物台采用精密滚珠丝杠，预加载以消除齿隙，其螺母具有擦拭器，以防止污染，并在载物台的整个使用寿命内保持高精度。高质量的预加载双联轴承用于消除轴向间隙。
所有ATS150系列级均包含线性运动导轨（LMG）轴承，以提供高负载能力和高刚度。LMG设计提供了一个紧凑的载物台，在整个行程中具有连续的支架支撑和良好的悬臂承载能力。轴承滑块上的一体式雨刷器有助于确保载物台运行寿命。高度精确的光学限位开关和末端止动器也是标准配置。
一体式波纹管式路盖可保护传动和轴承系统免受污染。金属表面采用引人注目的透明阳极氧化处理进行保护。公制（标准）和英制安装和螺栓孔模式均可用。
线性编码器
精密非接触式线性编码器是一种选择。编码器安装在载物台内部，保护其免受外部污染物和碎屑的影响。
电机和驱动器
所有ATS150系列级都包括Aerotech的BMS系列无刷旋转电机。该电机具有无刷电机的所有优点——高加速度、无刷磨损和较低的发热——但具有零齿槽，可实现极其平稳的运动和精度。
Aerotech生产各种匹配的驱动器和控制器，以提供完全集成和优化的运动解决方案。 |
