| 概要 |
适用于精确且稳健的线性运动
PRO165SL在紧凑的外形和高承载能力之间实现了好的平衡，是中高性能工业应用的好选择。PRO165SL级将高的工艺与高质量的组件相结合，可靠地提供高的定位性能。精心设计的功能和选项，加上有竞争力的价格，使PRO165SL级成为简化集成到各种精密系统中的好选择。 |
| 特征 |
紧凑外形的高有效负载容量可提供最大效用
高的几何性能确保了好的工作点精度
高的运动和定位性能，性价比高
坚固可靠的结构是多种工业用途的好选择
硬质外壳和侧面密封件可防止污染和颗粒
可提供真空和洁净室兼容版本 |
| 典型应用 |
PRO165SL机械轴承，滚珠丝杠级用途广泛，并在中高性能应用中得到验证，例如：
激光材料加工
精密计量、检验和显微镜
电子电路板制造与检验
显示处理
同步加速器和光源实验
医疗器械制造
半导体制造
光纤和硅光子学加工
增材制造与精密装配 |
| 技术概述 |
| 行程 |
mm |
100 |
150 |
200 |
300 |
400 |
| 精度 |
标准 |
μm |
±6 |
±8 |
±8 |
±10 |
±12 |
| 校准 |
μm |
±1.25 |
±1.5 |
±1.75 |
±2.5 |
±3 |
| 分辨率（最小增量运动） |
nm |
0.1/1.0 |
| 双向重复性(1) |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
| 水平直线度(1) |
μm |
±2.5 |
±3 |
±4 |
±6 |
±8 |
| 垂直直线度(1) |
μm |
±2.5 |
±3 |
±4 |
±6 |
±8 |
| 仰俯 |
μrad |
29 |
29 |
39 |
58 |
70 |
| 滚摆 |
μrad |
29 |
29 |
39 |
58 |
70 |
| 偏航 |
μrad |
29 |
29 |
39 |
58 |
70 |
| 最大速度(2) |
mm/s |
300 |
| 负载能力 |
水平 |
kg |
45 |
| 垂直 |
kg |
25 |
| 侧向 |
kg |
45 |
| 移动质量 |
|
- |
2.3 |
| 载物台质量 |
|
- |
6.1 |
6.6 |
7.1 |
8.1 |
9.1 |
| 材料 |
|
|
阳极氧化铝 |
| MTBF（平均故障间隔时间） |
|
h |
20000 |
|
| 尺寸 |
| 详见样本 |
| |
