概要 |
适用于精确且稳健的线性运动
PRO190SL是一款紧凑型载物台,在中等和高性能工业应用中表现好。PRO225SL载物台结合了高的工艺和高质量的部件,可靠地提供高的定位性能。精心设计的功能和选项,加上有竞争力的价格,使PRO1905SL级成为简化集成到各种精密系统、机器和工艺中的好选择。 |
特征 |
紧凑型设计简化了空间密集型应用中的集成
高的几何性能确保了好的工作点精度
高的运动和定位性能,性价比高
坚固可靠的结构是多种工业用途的好选择
硬质外壳和侧面密封件可防止污染和颗粒
可提供真空和洁净室兼容版本 |
典型应用 |
PRO190SL机械轴承,滚珠丝杠级用途广泛,并在中高性能应用中得到验证,例如:
激光材料加工
精密计量、检验和显微镜
电子电路板制造与检验
显示处理
同步加速器和光源实验
医疗器械制造
半导体制造
光纤和硅光子学加工
增材制造与精密装配 |
技术概述 |
PRO190SL |
单位 |
PRO190SL-100 |
PRO190SL-150 |
PRO190SL-200 |
PRO190SL-300 |
PRO190SL-400 |
PRO190SL-500 |
PRO190SL-600 |
行程 |
mm |
100 |
150 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
精度 |
标准 |
μm |
±6 |
±7 |
±8 |
±9.5 |
±11 |
±13 |
±15 |
校准 |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
分辨率(最小增量运动) |
nm |
0.1/1.0 |
双向重复性(1) |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
水平直线度(1) |
μm |
±2 |
±2.5 |
±2.5 |
±3.5 |
±4.5 |
±5.5 |
±6.5 |
垂直直线度(1) |
μm |
±2 |
±2.5 |
±2.5 |
±3.5 |
±4.5 |
±5.5 |
±6.5 |
仰俯 |
μrad |
29 |
39 |
39 |
50 |
60 |
70 |
80 |
滚摆 |
μrad |
29 |
39 |
39 |
50 |
60 |
70 |
80 |
偏航 |
μrad |
29 |
39 |
39 |
50 |
60 |
70 |
80 |
最大速度(2) |
mm/s |
300 |
负载能力 |
水平 |
kg |
60 |
垂直 |
kg |
50 |
侧向 |
kg |
60 |
移动质量 |
|
- |
3.7 |
载物台质量 |
|
- |
11.2 |
12 |
12.8 |
14.6 |
16.3 |
18.1 |
19.9 |
材料 |
|
|
阳极氧化铝 |
MTBF(平均故障间隔时间) |
|
h |
20000 |
|
尺寸 |
详见样本 |
|