| 概要 |
适用于精确且稳健的线性运动
PRO225SL是一款紧凑型载物台，在中等和高性能工业应用中表现好。PRO225SL载物台结合了高的工艺和高质量的部件，可靠地提供高的定位性能。精心设计的功能和选项，加上有竞争力的价格，使PRO225SL级成为简化集成到各种精密系统、机器和工艺中的好选择。 |
| 特征 |
紧凑型设计简化了空间密集型应用中的集成
高的几何性能确保了好的工作点精度
高的运动和定位性能，性价比高
坚固可靠的结构是多种工业用途的好选择
硬质外壳和侧面密封件可防止污染和颗粒
可提供真空和洁净室兼容版本 |
| 典型应用 |
PRO225SL机械轴承，滚珠丝杠级用途广泛，并在中高性能应用中得到验证，例如：
激光材料加工
精密计量、检验和显微镜
电子电路板制造与检验
显示处理
同步加速器和光源实验
医疗器械制造
半导体制造
光纤和硅光子学加工
增材制造与精密装配 |
| 技术概述 |
| PRO225SL |
单位 |
PRO225SL-100 |
PRO225SL-200 |
PRO225SL-300 |
PRO225SL-400 |
PRO225SL-500 |
PRO225SL-600 |
PRO225SL-800 |
PRO225SL-1000 |
| 行程 |
mm |
100 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
800 |
1000 |
| 精度 |
标准 |
μm |
±6 |
±8 |
±9.5 |
±11 |
±13 |
±15 |
±17 |
±18 |
| 校准 |
μm |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
±2.5 |
±3 |
| 分辨率（最小增量运动） |
nm |
0.1/1.0 |
| 双向重复性(1) |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
| 水平直线度(1) |
μm |
±2 |
±2.5 |
±3.5 |
±4.5 |
±5.5 |
±6.5 |
±8 |
±9.5 |
| 垂直直线度(1) |
μm |
±2 |
±2.5 |
±3.5 |
±4.5 |
±5.5 |
±6.5 |
±8 |
±9.5 |
| 仰俯 |
μrad |
29 |
39 |
50 |
60 |
70 |
80 |
90 |
110 |
| 滚摆 |
μrad |
29 |
39 |
50 |
60 |
70 |
80 |
90 |
110 |
| 偏航 |
μrad |
29 |
39 |
50 |
60 |
70 |
80 |
90 |
110 |
| 最大速度(2) |
mm/s |
220 |
| 负载能力 |
水平 |
kg |
100 |
| 垂直 |
kg |
60 |
| 侧向 |
kg |
100 |
| 移动质量 |
|
- |
7.3 |
| 载物台质量 |
|
- |
19.8 |
22.2 |
24.5 |
26.9 |
29.2 |
31.5 |
36.2 |
40.9 |
| 材料 |
|
|
阳极氧化铝 |
| MTBF（平均故障间隔时间） |
|
h |
20000 |
|
| 尺寸 |
| 详见样本 |
| |
