| 概要 |
适用于精确且稳健的线性运动
PRO560SL是一款宽体工业级，具有高的有效载荷承载能力。与PRO280SL相比，PRO560SL由于其更宽的轴承间距，提供了更好的角度和几何性能，使其成为多轴级组件的基轴的绝佳选择。PRO560SL载物台结合了高的工艺和高质量的部件，可靠地提供一流的定位性能。 |
| 特征 |
提供超重载承载能力和高刚度
高的几何性能确保了好的工作点精度
高的运动和定位性能，采用经济高效的包装
坚固可靠的结构是多种工业用途的好选择
硬质外壳和侧面密封件可防止污染和颗粒
可提供真空和洁净室兼容版本 |
| 典型应用 |
PRO280SL机械轴承，滚珠丝杠级用途广泛，值得信赖，并在中高性能应用中得到验证，例如：
激光材料加工
精密计量、检验和显微镜
电子电路板制造与检验
显示处理
同步加速器和光源实验
医疗器械制造
半导体制造
光纤和硅光子学加工
增材制造与精密装配 |
| 技术概述 |
| PRO560SL |
单位 |
PRO560SL-300 |
PRO560SL-400 |
PRO560SL-500 |
PRO560SL-600 |
PRO560SL-800 |
PRO560SL-1000 |
| 行程 |
mm |
300 |
400 |
500 |
600 |
800 |
1000 |
| 精度 |
标准 |
μm |
±9.5 |
±11 |
±13 |
±15 |
±17 |
±18 |
| 校准 |
μm |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
±2.5 |
±3 |
| 分辨率（最小增量运动） |
nm |
|
|
|
| 双向重复性(1) |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
| 水平直线度(1) |
μm |
±3 |
±4 |
±5 |
±6 |
±7 |
±8.5 |
| 垂直直线度(1) |
μm |
±3 |
±4 |
±5 |
±6 |
±7 |
±8.5 |
| 仰俯 |
μrad |
49 |
60 |
70 |
78 |
90 |
110 |
| 滚摆 |
μrad |
39 |
44 |
53 |
58 |
73 |
87 |
| 偏航 |
μrad |
49 |
60 |
70 |
78 |
90 |
110 |
| 最大速度(2) |
mm/s |
220 |
140 |
| 负载能力 |
水平 |
kg |
150 |
| 垂直 |
kg |
70 |
| 侧向 |
kg |
150 |
| 移动质量 |
- |
24.6 |
| 载物台质量 |
- |
63.7 |
68.6 |
73.5 |
78.4 |
88.2 |
98 |
| 材料 |
- |
阳极氧化铝 |
| MTBF（平均故障间隔时间） |
h |
20000 |
|
| 尺寸 |
| 详见样本 |
| |
