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PlanarSL机械轴承丝杠平台/最大100mm/±0.3μm

概要

Aerotech的PlanarSL机械轴承、滚珠螺杆驱动XY载物台以经济高效、低姿态的包装提供高的性能。PlanarSL将两个运动轴组合在一个紧凑的封装中,是从表面计量到通用高精度自动化应用的合适解决方案。

特征

集成式、薄型、XY、滚珠丝杠台
长寿命直线运动导向轴承系统
可选低热膨胀玻璃线性编码器
经济高效、高精度的平面性能

稳健、高精度设计
PlanarSL标配精密研磨和预加载滚珠丝杠。与滚珠丝杠位于侧面或偏离中心的设计不同,PlanarSL的设计可直接驱动通过摩擦和刚度中心,从而获得高的几何性能和精度。
高精度直线运动导向轴承提供高的直线度和平面度性能,同时在整个XY行程中为移动支架提供好的支撑。PlanarSL结构元件经过精心设计和多年的精密运动系统经验的优化,可实现高的平面性能。
可选低热膨胀线性编码器
与使用钢(13 ppm/°C)或热膨胀系数为8 ppm/°C的玻璃的设计不同,PlanarSL可在两个轴上使用低热膨胀(3.3 ppm/°C)精密玻璃,从而实现长时间的高精度和可重复定位。线性编码器可提供放大正弦(1Vpp)或0.1μm TTL数字输出,安装在动作中心,再次为高精度定位提供优化的平台解决方案。
配置选项
PlanarSL的标准配置为24VDC双极性步进电机。Aerotech还可以为无刷和刷直流电机提供预配置的高分辨率旋转编码器,用于Aerotech控制器。
多种控制选项
PlanarSL系列有多种运动控制器可供选择。这套软件和驱动电子设备提供了各种成本和性能水平,以满足任何应用程序的需求。

技术概述
PlanarSL 单位 PlanarSL-100XY
行程 mm 100x100
精度 滚珠丝杠 HALAR μm ±1.5
标准 μm ±4.0
LT编码器 HALAR μm ±1.0
标准 μm ±3.0
分辨率 最小增量运动 μm 0.1
双向重复性 滚珠丝杠 μm ±0.75
LT μm ±0.3
平面度 水平 μm ±2.0
垂直 μm ±2.0
俯仰 arc sec 14
滚摆 arc sec 14
偏航 arc sec 8
正交 arc sec 20
最大速度 mm/s 30
负载能力 水平 kg 20
平台质量 不含电机 kg 16.6
材料 - 阳极氧化铝质
MTBF(平均故障间隔时间) h 30000
注释:
1.过大的占空比可能会影响级精度。
2.有效载荷规格适用于单轴系统,基于滚珠丝杠和轴承2500公里的行驶寿命。
3.基于Aerotech控制器。
4.规格适用于单轴系统,在滑块上方25mm处测量。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。
多轴或非标准应用请咨询我们
尺寸
详见样本
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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