单轴旋转直接驱动纳米定位台
超重型应用的最大扭矩和平稳运动
ANT95R直接驱动旋转载物台是Aerotech纳米运动技术产品系列的一部分。我们的旋转台提供高的位置稳定性(0.005弧秒)和低于0.01弧秒的增量运动性能,并提供两个级别的精度。
多轴功能
ANT95R系列旨在与Aerotech的ANT线性载物台产品兼容并易于集成。这些平台共同为几乎任何纳米制造或检测应用提供了精度、稳定性和小尺寸性能。
动态性能
除了高精度水平外,这些系统还提供了高动态性能和吞吐量,适合需要速度和精度的过程。
耐久性
ANT95R级系列设计用于全天候生产环境。与其他旋转设备不同,ANT95R无需定期维护,确保多年无故障运行。 |