Aerotech的WaferMaxT旋转载物台是需要在低高度封装中实现高性能的应用的好选择。WaferMaxT最初是为满足精密晶圆检测的需求而设计的，现已应用于多种应用。标准的25毫米孔径允许在需要有限旋转的情况下轻松通过真空管线。如果需要连续旋转，可以加入可选的单端口或双端口旋转接头。桌面包括一个标准的安装模式，可以方便地安装晶圆卡盘。
好的机械设计
角接触轴承用于大限度地提高摆动、力矩刚度和旋转摩擦的性能。一个厚壁，精密研磨轴进一步减少摆动。
电缆管理是一个带有集成电机电源和反馈连接器的按扣。因为WaferMaxT是一个独立的单元，它可以很容易地集成到多级堆栈中。可以提供服务环路或集成Aerotech电缆管理系统（CMS），以获得高度可靠的解决方案。
无刷直接驱动
为了大限度地提高定位性能，WaferMaxT采用Aerotech的s系列无刷无槽电机。这种电机具有无刷直接驱动电机的优点——无需磨损电刷，无需维护齿轮系，以及高加速度和高速。由于它是一个无槽、无铁的设计，所以没有齿槽，这意味着绝对没有扭矩波动。这使得WaferMaxT非常适合需要好的轮廓运动、平滑的扫描速度或精确的增量步长的应用。低惯性和零齿隙使WaferMaxT成为适用于需要频繁改变方向的应用程序的好解决方案。
精确定位
每转10000行编码器的分辨率为0.065弧秒，可确保性能。2048线选项也可用。电机和高性能旋转编码器直接连接到一个公共轴上。
灵活的配置
Aerotech生产各种伺服放大器和高级控制器，以提供完整的集成封装。 |
