| 概要 |
实现卓越的纳米级运动
我们的第二代ANT130L线性载物台是满足您纳米级运动和定位需求的良好解决方案。有多种配置可供选择，它们擅长提供高的准确性、可重复性、速度和可靠性。它们令人印象深刻的动态能力和充足的负载能力使ANT130L舞台成为您高精度工业或研究过程的绝佳选择。 |
| 特征 |
·增强型第二代设计
·在长达210毫米的行程中提供纳米级定位性能-新
·实现小增量运动至0.5 nm-新
·采用高精度交叉滚柱轴承，实现高的动态性能和AMPLE负载能力
·使用无铁直接驱动直线电机大限度地提高工艺吞吐量和可靠性
·可轻松集成到多轴组件和运动子系统中
·提供绝对值和超高分辨率增量编码器选项 |
| 典型应用 |
ANT130L平台是高精度和高动态定位应用的理想选择，包括：
光子组装和检查
光纤对准和优化
光学器件制造、测试和检验
传感器测试和鉴定
半导体加工和检验
研究和实验室应用 |
| 技术概述 |
| ANT130L |
单位 |
ANT130L-035 |
ANT130L-60 |
ANT130L-110 |
ANT130L-160 |
ANT130L-210 |
| 行程 |
mm |
35 |
60 |
110 |
160 |
210 |
| 精度 |
PL1 |
μm |
±2.0 |
±2.0 |
±3.0 |
±4.0 |
±4.0 |
| PL2 |
±250nm(E1/E2/E3) |
±250nm(E1/E2/E3) |
±275nm(E1/E2/E3) |
±275nm(E1/E2/E3) |
±300nm(E1/E2/E3) |
| ±175nm(E4) |
±175nm(E4) |
±200nm(E4) |
±200nm(E4) |
±225nm(E4) |
| 分辨率（最小增量运动） |
nm |
E1:1nm/E3:5nm/E4:0.5nm |
| 双向重复性 |
nm |
±75 |
| 水平直线度 |
μm |
±1.0 |
±1.0 |
±1.0 |
±1.5 |
±1.5 |
| 垂直直线度(1) |
μm |
±1.0 |
±1.0 |
±1.0 |
±1.5 |
±1.5 |
| 仰俯 |
arc sec |
10 |
| 滚摆 |
arc sec |
10 |
| 偏航 |
arc sec |
5 |
| 最大速度(2) |
m/s |
E1E3E4:350mm/s/E2:145mm/s |
| 最大加速度-无负载 |
g |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
| 定位稳定性 |
nm |
E1:＜1nm/E3:＜5nm/E4:＜0.5nm |
| 负载能力 |
水平 |
kg |
12 |
12 |
12 |
12 |
12 |
| 侧向 |
kg |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
| 移动质量 |
kg |
1.3 |
1.4 |
1.9 |
2.3 |
2.7 |
| 平台质量 |
kg |
2.6 |
3.0 |
3.8 |
4.6 |
5.5 |
| 材料 |
- |
阳极氧化铝 |
| MTBF（平均故障间隔时间） |
h |
30000 |
注释：
1.每个平台均通过认证。
2.定位稳定性报告为3西格玛值。需要1 Vpp编码器。
3.有效载荷规格假定有效载荷以轴为中心。
4.规格适用于在滑块上方25mm处测量的单轴系统。组合多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。多轴或非标准应用请咨询工厂。
5.PLUS需要使用Aerotech控制器。
6.确保规范的实现性和可重复性 |
| 尺寸 |
| 详见样本 |
| |
