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ANT180L机械轴承直线电机平台/最大360mm/±100nm

概要

单轴直接驱动纳米定位平台
ANT180L继续扩展Aerotech的高精度交叉滚轴载物台系列。凭借其纳米分辨率、高的双向可重复性和高的低速性能,它是高精度对准、测量、扫描和其他苛刻应用的好解决方案。

特征

·无接触、无齿槽、无摩擦直接驱动
·零齿隙或迟滞
·高分辨率(1 nm),高重复性(±100 nm),高精度(±150 nm)
·防蠕变十字滚子轴承
·行程至360毫米
·多轴系统的集成电缆管理

非接触式直接驱动
ANT180L由大功率线性电机驱动,该电机带有无铁加力器和U形通道磁轨道。直接驱动线性电机将载物台驱动至2g的峰值空载加速度和500mm/s的最大速度。因为施力器是无铁的,所以它是一种无齿轮设计,可以提供高的速度控制。
出色的分辨率
直接驱动线性电机和高精度线性编码器与Aerotech控制系统相结合,可实现高的逐步分辨率。这在光谱学、光学延迟线和其他应用中至关重要。此外,线性电机和高分辨率线性编码器系统还提供了高的位置稳定性。
卓越的几何结构实现高性能
它的大横截面为多轴系统提供了一个坚固稳定的基准轴。Aerotech的刚性结构和紧凑的两件式设计使平台具有高的几何公差。因此,在整个行程中,直线度和平面度通常小于±1μm。
ANT180L专为平稳、无振动的运动而设计,采用精密防保持架蠕变十字滚子轴承,实现高的运动平稳性。由于轴承系统和驱动系统都不使用任何再循环元件,ANT180L具有扫描和检查应用所需的无波纹运动。
精确对准和电缆管理
ANT180L系列载物台易于配置为XY和其他多轴组件。5弧秒的精确正交对准和多轴电缆管理系统(CMS)是标准选项。我们在CMS捆绑包中包括所有客户需要的电缆、空气软管等,以便于整合到最终系统中。两端都是完全连接的,可以简单地集成到客户的机器中。

技术概述
ANT180L 单位 ANT180L-160 ANT180L-210 ANT180L-260 ANT180L-360
行程 mm 160 210 260 360
精度 E3 PL2 nm ±150 ±150 ±200 ±200
PL1 μm ±2.0 ±2.0 ±3.0 ±4.0
E1 PL2 nm ±300 ±300 ±350 ±350
PL1 μm ±4.0 ±5.0 ±6.0 ±7.0
分辨率(最小增量运动) E3 nm 1 1 1 1
E1 nm 3 3 3 3
双向重复性 E3 nm ±100 ±100 ±125 ±125
E1 nm ±150 ±150 ±175 ±175
水平直线度 μm ±1.0 ±1.25 ±1.5 ±1.75
垂直直线度(1) μm ±1.0 ±1.25 ±1.5 ±1.75
仰俯 arc sec 14 14 16 16
滚摆 arc sec 14 14 16 16
偏航 arc sec 10 10 12 12
最大速度(2) mm/s 500 500 500 500
最大加速度-无负载 g 2 2 2 2
最大力-连续 N 110.5 110.5 110.5 110.5
负载能力 水平 kg 30 30 30 30
侧向 kg 20 20 20 20
移动质量 kg 6.6 7.8 9.2 11.7
平台质量 kg 12.8 14.9 17.6 22.4
材料 - 铝基体/黑色硬涂层
MTBF(平均故障间隔时间) h 30000
注释:
1.每个平台均通过认证。
2.列出了轴上加载的轴方向。
3.规格适用于在滑块上方25mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。多轴或非标准应用请咨询工厂。
4.-PLUS需要使用Aerotech控制器。
5.规格仅为-E1和-E3。其他选择请咨询工厂。
尺寸
详见样本
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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