非接触式直接驱动
ANT180L由大功率线性电机驱动,该电机带有无铁加力器和U形通道磁轨道。直接驱动线性电机将载物台驱动至2g的峰值空载加速度和500mm/s的最大速度。因为施力器是无铁的,所以它是一种无齿轮设计,可以提供高的速度控制。
出色的分辨率
直接驱动线性电机和高精度线性编码器与Aerotech控制系统相结合,可实现高的逐步分辨率。这在光谱学、光学延迟线和其他应用中至关重要。此外,线性电机和高分辨率线性编码器系统还提供了高的位置稳定性。
卓越的几何结构实现高性能
它的大横截面为多轴系统提供了一个坚固稳定的基准轴。Aerotech的刚性结构和紧凑的两件式设计使平台具有高的几何公差。因此,在整个行程中,直线度和平面度通常小于±1μm。
ANT180L专为平稳、无振动的运动而设计,采用精密防保持架蠕变十字滚子轴承,实现高的运动平稳性。由于轴承系统和驱动系统都不使用任何再循环元件,ANT180L具有扫描和检查应用所需的无波纹运动。
精确对准和电缆管理
ANT180L系列载物台易于配置为XY和其他多轴组件。5弧秒的精确正交对准和多轴电缆管理系统(CMS)是标准选项。我们在CMS捆绑包中包括所有客户需要的电缆、空气软管等,以便于整合到最终系统中。两端都是完全连接的,可以简单地集成到客户的机器中。 |