设计特点
•Aerotech 是小的密封直线电机平台
•坚固的机械结构
•采用经济高效的封装，实现高性能
•用于超精密运动的直接驱动直线电机
•九种型号，行程从 50 mm 到 600 mm 不等
•提供真空和洁净室版本
•提供 ThermoComp®，可在不断变化的环境中实现高性能
坚固的机械结构
长寿命循环直线导轨轴承系统和低摩擦密封解决方案使 PRO115LM 成为激光加工等工业应用的极具吸引力的解决方案。PRO115LM 设计的基本外部结构可防止碎屑，而侧封可防止灰尘和颗粒进入载物台。弯曲的硬封面设计提供了自然的形状，可防止过多的碎屑聚集在舞台上。
精密运动性能
PRO115LM 系列载物台采用高精度非接触式线性编码器进行优化，载物台密封系统可防止碎屑进入。这些编码器提供低至 5 nm 的最小增量运动和亚微米级定位重复性。精密循环直线轴承以及加工和装配工艺可实现高的几何性能规格。可选的 HALAR 工厂校准将定位精度提高到 ±0.75 μm。
使用热电技术®实现精确定位
温度变化和热效应是精密机器中最大的误差源。所有PRO系列载物台均具有Aerotech的ThermoComp®功能，这是一种嵌入式温度补偿单元，可确保在变温环境中的准确定位。使用此功能可保护您的过程免受实际条件的影响，即使在极端工业环境中也是如此。
直驱直线电机
Aerotech 的大功率 U 型通道直线电机驱动 PRO115LM。无铁芯测力线圈提供高力，零齿槽效应，可实现超平滑的速度和位置控制。
这种无铁芯设计非常适合需要高轮廓精度和平滑速度轮廓分析的应用。与所有 Aerotech 直线电机平台一样，直线电机具有零间隙、无卷绕、零摩擦和出色的动态响应性。
设计和集成灵活性
PRO115LM 具有许多标准功能和选项，使设计非常灵活，并可轻松针对特定应用进行定制。PRO115LM 有九种不同的型号，行程范围从 50 mm 到 600 mm，速度高达 2 m/s。可配置的电缆管理解决方案可作为标准选项用于单轴和多轴系统。
底座安装孔可从载物台外部检修，便于安装。英制和公制光学工作台的标准安装孔存在于所有行程中。桌面提供英制和公制安装模式，并可订购刷子附件，以清除可能聚集在舞台硬盖上的任何碎屑。还提供带有孔型的桌面，允许直接连接 Aerotech 的 ADRS、ACS-LP 和 AGR 旋转平台。
PRO115LM 系列还提供洁净室制备和真空版本。 |
