| 概要 |
精确、可靠且适应性强
PRO165LM在紧凑的外形和高承载能力之间实现了理想的平衡，是中高性能工业应用的理想选择。PRO165LMstages将高工艺和高质量的组件相结合，始终如一、可靠地提供高的定位性能。经过精心设计的功能和选项，再加上有竞争力的价格，使PRO165LM级成为流式集成到各种精密系统中的理想选择。 |
| 特征 |
紧凑外形的高有效负载容量可提供最大效用
无铁无齿轮直线电机提供流畅、超精密的运动体验
高定位和动态能力，具有成本效益
一流的几何性能确保卓越的工作点精度
坚固可靠的结构是多种工业用途的理想选择
硬质外壳和侧面密封件可防止污染和颗粒
ThermoComp®选项可自动补偿热干扰
可提供洁净室制备和真空版本。 |
| 典型应用 |
PRO165LM机械轴承，直接驱动线性级用途广泛，值得信赖，在中高性能应用中得到了验证，例如：
激光材料加工
精密计量、检验和显微镜
电子电路板制造与检验
显示处理
同步加速器和光源实验
医疗器械制造半导体制造
光纤和硅光子学加工
增材制造与精密装配 |
| 技术概述 |
| PRO165LM |
单位 |
PRO165LM-100 |
PRO165LM-150 |
PRO165LM-200 |
PRO165LM-300 |
PRO165LM-400 |
PRO165LM-500 |
PRO165LM-600 |
| 行程 |
mm |
100 |
150 |
200 |
300 |
400 |
500 |
600 |
| 精度-标准(1) |
μm |
±4 |
±6 |
±8 |
±10 |
±12 |
±14 |
±15.5 |
| 精度校准(1) |
μm |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
| 分辨率（最小增量运动） |
nm |
5 nm（-E1 编码器） |
| 双向重复性(1) |
μm |
±0.4 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
| 水平直线度(1) |
μm |
±2.5 |
±3 |
±4 |
±6 |
±8 |
±9 |
±10 |
| 垂直直线度(1) |
μm |
±2.5 |
±3 |
±4 |
±6 |
±8 |
±9 |
±10 |
| 仰俯 |
arc sec |
3.9 |
|
6 |
10.1 |
12 |
16.1 |
20 |
| 滚摆 |
arc sec |
3.9 |
|
6 |
10.1 |
12 |
16.1 |
20 |
| 偏航 |
arc sec |
3.9 |
|
6 |
10.1 |
12 |
16.1 |
20 |
| 最大速度(2) |
m/s |
2 |
| 最大加速度(2) |
g |
3 |
| 最大力（连续） |
N |
77.7 |
| 负载能力-水平(3) |
kg |
45 |
| 负载能力侧(3) |
kg |
45 |
| 移动质量 |
- |
2.6 |
| 滑块质量 |
- |
8.2 |
9.1 |
9.9 |
11.6 |
13.3 |
14.9 |
16.6 |
| 材料 |
|
铝 |
| MTBF（平均故障间隔时间） |
h |
20000 |
注释：
1.通过 -PL1/ -PL2 选件认证。
2.需要选择具有足够电压和电流的适当放大器。
3.列出了轴上载荷的轴方向。
4.规格适用于在桌面上方 25 mm 处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。联系我们了解多轴应用。 |
| 尺寸 |
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