| 概要 |
精确、可靠且适应性强
PRO560LM是一款宽体工业级，具有良好的有效载荷承载能力。与PRO280LM相比，PRO560LM由于其更宽的轴承间隔，提供了更好的角度和几何性能，使其成为多轴级组件的优秀基础轴。PRO560LM级结合了良好的工艺和高质量的组件，始终如一、可靠地提供定位性能。 |
| 特征 |
良好有效载荷能力-紧凑外形的良好有效负载容量可提供大效用
无铁无齿轮直线电机提供流畅、超精密的运动体验
高的定位和动态能力，具有成本效益
良好的几何性能确保工作点精度
坚固可靠的结构是多种工业用途的理想选择
硬质外壳和侧面密封件可防止污染和颗粒
ThermoComp®选项可自动补偿热干扰
可提供洁净室制备和真空版本。 |
| 典型应用 |
PRO560LM机械轴承，直接驱动线性级用途广泛，值得信赖，并在中高性能应用中得到验证，例如：
激光材料加工
精密计量、检验和显微镜
电子电路板制造与检验
显示处理
同步加速器和光源实验
医疗器械制造
半导体制造
光纤和硅光子学加工增材制造和精密组装 |
| 技术概述 |
| PRO560LM- |
单位 |
PRO560LM-300 |
PRO560LM-400 |
PRO560LM-500 |
PRO560LM-600 |
PRO560LM-800 |
PRO560LM-1000 |
| 行程 |
mm |
300 |
400 |
500 |
600 |
800 |
1000 |
| 精度-标准(1) |
μm |
±10 |
±12 |
±14 |
±15.5 |
±17 |
±18 |
| 精度校准(1) |
μm |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
| 分辨率（最小增量运动） |
nm |
5 nm（-E1 编码器） |
| 双向重复性(1) |
μm |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
| 水平直线度(1) |
μm |
±3 |
±4 |
±5 |
±6 |
±7 |
±8 |
| 垂直直线度(1) |
μm |
±3 |
±4 |
±5 |
±6 |
±7 |
±8 |
| 仰俯 |
μrad |
49 |
60 |
70 |
78 |
90 |
110 |
| 滚摆 |
μrad |
39 |
44 |
53 |
58 |
73 |
87 |
| 偏航 |
μrad |
49 |
60 |
70 |
78 |
90 |
110 |
| 最大速度(2) |
m/s |
2 |
| 最大加速度(2) |
g |
3 |
| 最大力（连续） |
N |
532.4（标准）/792.6（气冷） |
| 负载能力-水平(3) |
kg |
150 |
| 负载能力侧(3) |
kg |
150 |
| 移动质量 |
- |
25 |
| 滑块质量 |
- |
90.4 |
99.5 |
108.6 |
117.7 |
135.9 |
154.1 |
| 材料 |
|
阳极氧化铝 |
| MTBF（平均故障间隔时间） |
h |
20000 |
注释：
1.通过 -PL1/ -PL2 选件认证。
2.需要选择具有足够电压和电流的适当放大器。
3.列出了轴上载荷的轴方向。
4.规格适用于在桌面上方 25 mm 处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。联系我们了解多轴应用。 |
| 尺寸 |
| 详见样本 |
| |
