高级平台设计
PlanarDL XY设计可在直线度和运动平面度至关重要的应用中实现高的平面几何性能。高精度防蠕变交叉滚柱轴承、精密加工表面和Aerotech线性电机通过轴的刚度中心驱动，从而实现具有特殊几何公差的定位阶段。
PlanarDL结构元件经过优化，具有高动态性和高刚度，适用于苛刻的动态应用。PlanarDL能够实现1米/秒的速度和1.5克的加速度，能够实现高吞吐量、高精度的处理，从而实现高的工艺产量和较低的总体拥有成本。与使用循环轴承的竞争产品不同，该设计中使用的防蠕变交叉滚柱轴承允许平稳运动，使其成为具有合适的扫描应用的理想平台解决方案。
非接触式直接驱动技术
只有非接触式直接驱动技术才能提供高速准确的定位，以及免维护的操作和较长的使用寿命。PlanarDL的核心是Aerotech的直接驱动技术。与其他的基于螺杆和线性电机的设计相比，这种驱动技术具有高的性能。
PlanarDL-200XY和-300XY平台每个轴都有一个或两个电机，可以针对特定的应用和工艺优化每个单独的轴。无论选择的电机数量如何，产生的驱动力都会通过摩擦中心和刚度中心发挥作用，从而获得高的几何性能和精度。
集成电缆管理
PlanarDL上的电缆管理系统集成到平台中，并进行了优化，以延长使用寿命和性能。额外的标准选项可用于额外的伺服轴或真空卡盘或其他工艺气动装置的空气/真空管线。
极限定位性能
PlanarDL有三种定位性能选项。Aerotech凭借系统级设计经验，不仅包括定位力学，还包括软件和电子，开发技术来突破精度。高性能-PLUS和-ULTRA选项可用于实现精度和直线度值低至±400 nm，正交性低至1弧秒。 |
