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ABL1500Z机械轴承直线电机平台/最大200mm/±0.1μm

概要

ABL1500Z是ABL1500系列空气轴承级的垂直提升型。ABL1500Z非常适合具有大偏置负载和需要高精度的应用。
尖端制造业,特别是在半导体和数据存储行业,要求定位公差超出传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500Z具有主动预紧力、高的刚度和好的几何特性,专为满足这些要求而设计。
高动态性能的空气轴承设计
ABL1500Z在垂直和水平表面均采用空气对空气预载荷。相反的薄膜压力保持轴承的公称间隙公差。这种设计,除了将负载分布在大表面积上的大型空气轴承表面外,还产生了具有好刚度的平台,很适合重载荷或偏移载荷。
Aerotech的制造技术使其具有好的几何特性,通过产生好的俯仰、滚转、偏航、直线度和平整度规格,大限度地提高了性能。
零齿槽直线电机驱动
这个平台背后的驱动力是Aerotech的BLMC串联无刷直线伺服电机。BLMC采用无铁的力,这意味着有零齿槽,没有吸引力,导致好的平滑运动。
免维护
我们的完全非接触式空气轴承,非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置确保多年无维护运行,并达到Aerotech设备预期的高性能水平。由于运动元件之间没有机械接触,ABL1500Z不会随着时间的推移而磨损或降低性能。使用寿命几乎是无限的,因为没有润滑-只有清洁,干燥的气体-空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。
线缆管理
我们精心优化电缆弯曲半径,确保多年无故障运行。在不太可能发生故障的情况下,Aerotech的模块化设计使得电缆更换快速简便,停机时间最短。
我们在CMS包中包含所有客户需要的电缆、空气软管等,以方便集成到最终系统中。两端完全连接,以便简单地集成到客户的机器中。

特征

设计用于高性能扫描和检测
所有空气轴承表面的主动空气预紧力
线性编码器反馈提供亚纳米分辨率
高刚度重载和优良的几何性能
四种型号,行程从50到200毫米
集成平衡装置

技术概述
ABL1500Z 单位 ABL1500Z-050 ABL1500Z-100 ABL1500Z-150 ABL1500Z-200
行程 mm 50 100 150 200
精度 E1 已校准 μm ±0.3 ±0.3 ±0.4 ±0.5
标准 μm ±2.0 ±3.0 ±5.0 ±8.0
E3 HALAR μm ±0.2 ±0.2 ±0.3 ±0.5
已校准 μm ±1.5 ±2.5 ±4.0 ±6.0
双向重复精度 E1 μm ±0.1 ±0.1 ±0.15 ±0.2
E3 μm ±0.1 ±0.1 ±0.15 ±0.2
平面度 μm ±0.4 ±0.6 ±0.8 ±1.0
垂直度 μm ±0.4 ±0.6 ±0.8 ±1.0
俯仰 arc sec ±1 ±1.5 ±2 ±2.5
滚动 arc sec ±1 ±1.5 ±2 ±2.5
偏航 arc sec ±1 ±1.5 ±2 ±2.5
最大速度 mm/s 300
最大加速度 m/s2 20
最大连续力 N 93.6
负载能力 kg 15
工作压力 psi 80
气压 sipm 平台: 24-30 slpm @ 551 kPa;平衡装置:最大60slpm
无负载运动质量 kg 5.9
平台质量 kg 23.8 26.6 28.5 30.5
材质 -
MTBF平均故障间隔时间 h >20000
注释:
1. 通过每个阶段的认证。
2. 轴上加载的轴方向已列出。
3. 规格为单轴系统测量桌面以上25毫米。多轴系统的性能依赖于载荷和工作点。多轴请咨询工厂
或者是非标准应用程序。
4. 为了保护空气轴承免受欠压,建议将在线压力开关连接到运动控制器/放大器ESTOP输入。
5. 送风必须清洁,干燥至0°F露点,过滤至0.25 μm或更好;建议使用纯度为99.9%的氮气。
6. 在XY配置中安装ABL1500时,最大上轴长度为200mm。
尺寸
请见样本
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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