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产品>传动与定位>定位台>
垂直升降台
       

 
 
 
 
ABL1500Z/最大200mm/±0.1μm   AVL1000/1-2mm/±0.25μm   AVS/6、13、26mm/±0.75μm   AVSI/6、13、25mm/5.3nm   PRO-SV/最大50mm/±0.15μm
       

 
 
 
 
VTS/最大200mm/±10μm   WaferMaxZ/5mm/±0.3μm   ANT95LZ/25、50mm/±75nm   ANT95LZS/25-100mm/±75nm   ANT95V/3mm/±100nm
         

 
 
 
   
ANT130V-5/5mm/±100nm   ANT130LZ/最大60mm/±75nm   ANT130LZS/最大160mm/±75nm   ZP200/25mm/±3mm    
                 
                 
                 
                 
                 

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