| 概要 |
优越的纳米级垂直运动
我们的第二代ANT130LZ平台经过专门设计，可以在垂直方向上提供纳米级的运动和定位性能。与用户可调，低摩擦气动平衡，他们是好的结合精度，可重复性，速度和可靠性。其好的动态能力和充足的承载能力，使ANT130LZ阶段一个很好的选择，当您的过程需要好的垂直运动。
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| 特征 |
增强的第二代设计
实现小运动增量到1纳米——新
提供纳米级的定位性能，行程长度可达60mm
补偿有效载荷高达10公斤，在垂直方向上具有用户可调的低摩擦平衡
具有高精度交叉滚子轴承，具有好的动态性能和充足的负载能力
通过无铁直接驱动直线电机优化工艺吞吐量和大限度地提高可靠性
绝对和超高分辨率增量编码器选项可用 |
| 典型应用 |
ANT130LZ平台是高精度和高动态垂直定位应用的好选择，包括:
光电组装和检测
光纤对准与优化
光学制造、测试及检验
传感器测试与鉴定
半导体加工与检验
研究及实验室应用 |
| 技术概述 |
| ANT130LZ |
单位 |
ANT130LZ-035 |
ANT130LZ-060 |
| 行程 |
mm |
35 |
60 |
| 精度 |
PL1 |
nm |
±3.0 |
| PL2 |
nm |
E1E2E3:±300/E4:±200 |
| 双向重复精度 |
nm |
±75 |
| 分辨率(最小增量运动) |
nm |
E1:2/E3:6/E4:1 |
| 平面度和直线度 |
μm |
±2.0 |
| 俯仰 |
arc sec |
10 |
| 滚动 |
arc sec |
10 |
| 偏航 |
arc sec |
5 |
| 最大速度 |
mm/s |
E1E3E4:200/E2:145 |
| 最大加速度-无负载 |
g |
1 |
| 就位稳定性 |
nm |
E1:2/E3:6/E4:1 |
| 负载能力-垂直 |
kg |
10 |
| 运动质量 |
kg |
1.3 |
1.5 |
| 平台质量 |
kg |
5.0 |
5.7 |
| 材质 |
- |
阳极电镀铝 |
| MTBF平均故障间隔时间 |
h |
30000 |
注释：
1. 通过每个阶段的认证。
2. 需要选择合适的放大器，具有足够的电压和电流。
3. 原位稳定性报告为3-sigma值。需要一个1 Vpp编码器。
4. 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心。
5. 规格报告为单轴测量台面以上25毫米。多轴系统的性能取决于载荷和工作点。多轴或非标准应用咨询工厂。
6. PLUS性能需要使用Aerotech控制器。
7. 为了确保在较长一段时间内达到规格和可重复性，环境温度必须控制在每24小时0.25°C以内。更多信息请咨询工厂。
8. 气动平衡器的供气必须清洁，干燥至0°F露点，并过滤至0.25 μm或更好。Aerotech建议使用纯度为99.9%的氮气。供给压力是由级段携带的有效载荷量决定的。 |
| 尺寸 |
| 请见样本 |
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