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ANT130V机械轴承直线电机平台/最大5mm/±100nm

概要

单轴升降机直接驱动纳米定位平台,5毫米行程
Aerotech的ANT系列平台具有多毫米行程的纳米级定位系统。ANT130V-5和ANT130V-5- plus是线性电机驱动的楔形垂直提升台。该平台设计可与ANT130系列中的其他平台无缝集成,具有好的多轴性能,并提供两种精度等级。
非接触式直接驱动设计
所有原始ANT系列的直接驱动优势都保留在ANT130V-5家族中。只有非接触式直接驱动技术才能为大规模生产精密设备提供强大、准确和高速的定位。ANT130-V级采用Aerotech直接驱动技术,以实现高水平的定位性能。这种直接驱动技术具有高性能、无齿槽、非接触、高速、高分辨率和高精度等特点。这种驱动器和轴承组合,封装在小的外形和占地面积中,在许多应用中提供了切实的优势,例如高精度定位,磁盘驱动器制造,光纤对准,光学延迟元件驱动,传感器测试以及需要平滑和精确运动的扫描过程。
灵活的系统设计
ANT130V-5系列具有通用安装和台面模式,便于系统集成。两个,三个或更多的轴可以很容易地组合灵活的系统设计和多轴配置。
系统特点
高的精度,位置可重复性和位置稳定性要求高系统分辨率。ANT130V-5 平台的最小增量步长2nm提供了这种高水平的性能。好的位置稳定性是由高品质,防爬行,交叉滚子轴承辅助。该平台在产品的整个生命周期内提供几乎免维护的操作。Aerotech的直接驱动技术没有迟滞或反弹,可以实现精确和可重复的纳米级运动。

特征

纳米性能与5毫米的垂直行程
高分辨率(2nm),重复性(100nm),精度(200nm)
位置稳定性< 2nm
抗蠕变交叉滚子轴承
高动态性能

技术概述
ANT130V5 单位 ANT130V-5
行程 mm 5
精度 PL1 nm ±2
PL2 nm ±200
双向重复精度 PL1 nm ±150
PL2 nm ±100
单行重复精度 nm ±75
分辨率(最小增量运动) nm 2
平面度 μm ±1.0
俯仰 arc sec 20
滚动 arc sec 10
偏航 arc sec 10
最大速度 mm/s 75
最大加速度-无负载 g 0.7
就位稳定性 nm 2
负载能力-垂直 kg 3.0
运动质量 kg 1.8
平台质量 kg 3.1
材质 - 铝和不锈钢基体/黑色硬漆表面/黑色阳极氧化表面
MTBF平均故障间隔时间 h 30000
注释:
1. 通过每个阶段的认证。
2. 垂直于或平行于楔形方向测量的
3. 原位稳定性列表为3西格玛值。
4. 假定沿行程轴的载荷。
•规格为每轴,测量台面以上25毫米。多轴系统的性能依赖于载荷和工作点。多轴或非标准应用咨询工厂。
•-PLUS需要使用Aerotech控制器
尺寸
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产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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