| 概要 |
好的垂直运动，紧凑的外形因素
ANT95LZS阶段代表了低的垂直运动性能。采用双侧安装气动平衡低的摩擦特性，他们是好的结合分辨率，精度，可重复性，尺寸和可靠性。凭借其好的动态能力和增强的承载能力，ANT95LZS平台适合需要高品质的垂直运动在一个紧凑的外形情况时。 |
| 特征 |
提供纳米级的定位性能，行程长度达100毫米
达到小增量运动到1纳米
提供低轮廓，两侧安装的平衡器能够抵消高达5公斤的有效载荷，在垂直方向上实现超精确的性能
具有高精度交叉滚子轴承，具有好的动态性能和广泛的负载能力
大限度地提高工艺吞吐量和可靠性，采用无铁直接驱动直线电机
绝对和超高分辨率增量编码器选项可用 |
| 典型应用 |
ANT95LZS是需要高精度和动态定位性能的多轴应用的好选择，包括:
光电组装和检测
光纤对准与优化
光学制造、测试和检验
传感器测试和鉴定
半导体加工及检验
研究及实验室应用 |
| 技术概述 |
| ANT95LZS |
单位 |
ANT95LZS-025 |
ANT95LZS-050 |
ANT95LZS-100 |
| 行程 |
mm |
25 |
50 |
100 |
| 精度 |
PL1 |
nm |
±3.25 |
±3.25 |
±5.5 |
| PL2 |
nm |
E1E2E3:±275nm/E4:±175nm |
E1E2E3:±275nm/E4:±175nm |
E1E2E3:±300nm/E4:±200nm |
| 双向重复精度 |
nm |
±75 |
| 分辨率(最小增量运动) |
nm |
E1:2/E3:6/E4:1 |
| 平面度 |
μm |
±1.75 |
±1.75 |
±3.0 |
| 垂直度 |
μm |
±1.75 |
±1.75 |
±3.0 |
| 俯仰 |
arc sec |
10 |
| 滚动 |
arc sec |
10 |
| 偏航 |
arc sec |
5 |
| 最大速度 |
mm/s |
E1E3E4:200/E2:145 |
| 最大加速度-无负载 |
g |
1 |
| 就位稳定性 |
nm |
E1:2/E3:6/E4:1 |
| 负载能力-垂直 |
kg |
5 |
| 运动质量 |
kg |
0.50 |
0.72 |
1.08 |
| 平台质量 |
kg |
1.17 |
1.63 |
2.40 |
| 材质 |
- |
阳极电镀铝 |
| MTBF平均故障间隔时间 |
h |
30000 |
注释：
1. 通过每个阶段的认证。
2. 原位稳定性报告为3-sigma值。需要一个1 Vpp编码器。
3. 有效载荷规范假定有效载荷以轴为中心。
4. 规格报告为单轴测量台面以上25毫米。多轴系统的性能取决于载荷和工作点。多轴或非标准应用咨询工厂。
5. PLUS性能需要使用Aerotech控制器。
6. 为了确保在较长一段时间内达到规格和可重复性，环境温度必须控制在每24小时0.25°C以内。更多信息请咨询工厂。
7. 气动平衡器的供气必须清洁，干燥至0°F露点，并过滤至0.25 μm或更好。Aerotech建议使用纯度为99.9%的氮气。供给压力是由级段携带的有效载荷量决定的。 |
| 尺寸 |
| 请见样本 |
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