单轴升降机直接驱动纳米定位平台,3毫米行程
Aerotech的ANT系列平台具有多毫米行程的纳米级定位系统。ANT95V-3和ANT95V-3-plus是线性电机驱动的楔形垂直升降台。该平台设计可与ANT95系列中的其他平台无缝集成,具有好的多轴性能,并提供两种精度等级。
非接触直接传动
所有原始ANT系列的直接驱动优势都保留在ANT95V-3系列中。只有非接触式直接驱动技术才能为大规模生产精密设备提供强大、准确和高速的定位。ANT95V-3级采用Aerotech的直接驱动技术,以实现高水平的定位性能。这种直接驱动技术具有高性能、无齿槽、非接触、高速、高分辨率和高精度等特点。这种驱动器和轴承组合,封装在小的外形和占地面积中,在许多应用中提供了切实的优势,例如高精度定位,磁盘驱动器制造,光纤对准,光学延迟元件驱动,传感器测试以及需要平滑和精确运动的扫描过程。
灵活的系统设计
ANT95V-3系列具有通用安装和桌面模式,便于系统集成。两个,三个或更多的轴可以很容易地组合灵活的系统设计和多轴配置。
系统特点
高的精度,位置可重复性和位置稳定性要求高系统分辨率。ANT95V-3级的小增量步长1nm提供了这种高水平的性能。好的位置稳定性是辅助高品质,抗蠕变,交叉滚子轴承。该平台在产品的整个生命周期内提供几乎免维护的操作。Aerotech的直接驱动技术没有迟滞或反弹,可以实现精确和可重复的纳米级运动。 |