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AVS机械轴承直线电机平台/最大25mm/±0.75μm

概要

Aerotech的AVS100/AVSI100系列平台为需要在水平面以上的高度上进行非常小的增量运动的应用提供了解决方案。低轮廓和精确的运动能力使这些平台非常适合用于半导体晶圆检测和测试,光纤装配和检测,自动化工具对准,机器视觉检测系统和激光加工应用。
AVSI100系列级提供与AVS100级相同的性能,但占用空间更小。AVSI100集成了电机直接与驱动螺杆,没有电机联轴器。这使得这个平台的长度大大缩短。
优质的设计提供好的性能
AVS100/AVSI100系列在垂直平面上提供负载的精确仰角。精密地面滚珠丝杠的旋转运动转化为AVS100/AVSI100系列平台的垂直标高。密封直线运动导向轴承集成雨刷,以提供卓越的有效载荷能力,长寿命,平稳,精确的运动。垂直运动稳定、平行,保证平台无晃动和水平偏差。
精心的机械设计使AVS100/AVSI100系列能够实现亚微米分辨率,同时仍然保持紧凑的外形。可选的HALAR工厂校准选项可进一步提高标准精度和可重复性。
一个更好的垂直运动方法
垂直举升方法为传统的z平面定向分段提供了另一种选择。AVS100/AVSI100系列级不仅提供较低的轮廓,而且负载也可以从任何一侧轻松访问。通过将有效载荷置于轴承的中心,就没有悬臂效应。AVS100/AVSI100系列级提供了传统XYZ系统的节省空间的替代方案,同样适用于实验室和工业应用。可选的平台完成可用于各种环境,包括真空准备。
附加标准功能
所有AVS100/AVSI100系列平台标配整体限位开关和机械硬止动。工作台台面采用Teflon®浸渍硬涂层(洛氏62硬度)处理,耐刮擦,在恶劣的环境中提供好的保护。平台本身有黑色阳极氧化处理。
电机及驱动器
AVS100/AVSI100系列包括Aerotech的高性能NEMA 23框架尺寸BMS系列无刷,无槽伺服电机。无槽电机具有零齿槽,因此是好的应用需要非常平稳的运动。
Aerotech制造广泛的匹配驱动器和控制,以提供完全集成和优化的运动解决方案。

特征

长寿命直线导轨轴承系统
亚微米闭环定位
低成本、高性能舞台
6,13和25毫米旅行模型
精密研磨滚珠丝杠
整体式或可拆卸式电机

技术概述
AVS/AVSL 单位 AVS100-06/AVSL100-06 AVS100-13/AVSL100-13 AVS100-25/AVSL100-25
行程 mm 6 13 25
电机类型 - 精密滚珠丝杠/无刷伺服电机
总线电压 VDC 160
连续电流 峰值 A 2.3
均方根 A 1.6
分辨率 1000线TTL编码器 μm 0.53@电机分辨率4000步/转
1000线1Vpp编码器 nm 5.3nm-0.106μm
2500线TTL编码器 μm 0.2μm@电机分辨率10000步/转
最大行程速度 mm/s 50
有效导程 mm 2.12
最大载荷 kg 25
精度 未校准 μm ±1.5 ±3.0 ±5.0
已校准 μm ±1.0
双向重复精度 未校准 μm ±1.0
已校准 μm ±0.75
直线度和平面度(最大偏差) μm ±1.5 ±3.0 ±5.0
俯仰和滚动 arc sec ±5 ±7.5 ±10
无电机平台重量 kg 4.1 6.1 10.5
材质 - 铝/黑色阳极氧化/硬漆台面
注释:
1. 在AVS系列平台上使用更大的电机可以实现更高的负载。
2. 需要航空技术控制器。
3. 规格为单轴系统,平台以上50毫米测量。多轴系统的性能依赖于载荷和工作点。多轴或非标准应用咨询工厂。
4. 如需倒置操作,请咨询工厂。
尺寸
请见样本
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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