| 概要 |
精度高，行程长，外形小巧
我们的PRO-SV平台的最小步长为10纳米，是目前精确的螺杆驱动提升平台，而且它们在最短的高度上提供了长的行程范围。它们也是可以移动高达60公斤质量的长行程升降机，同时提供好的有效载荷可达性和几何性能。 |
| 特征 |
支持60公斤的负载能力，高达50毫米的旅行和20毫米/秒的最高速度
由于高精度交叉滚子轴承，提供好的直线度和角度性能
通过结合精密研磨滚珠丝杠，无槽扭矩电机和低膨胀线性编码器，实现10 nm步进尺寸
采用高可靠性驱动机构，使用寿命长
与PRO-SL和PRO-LM线性平台无缝集成
提供ThermoComp®，在不断变化的环境中保持一致的性能 |
| 典型应用 |
PRO-SV级非常适合高度受限的应用或多个定位级堆叠的情况，包括:
同步加速器和光束线样品操作
晶片检查
表面计量
激光显微加工
精密制造 |
| 技术概述 |
| PRO-SV |
单位 |
PRO165SV-020 |
PRO190SV-035 |
PRO225SV-050 |
| 行程 |
mm |
20 |
35 |
50 |
| 精度 |
标准 |
μm |
±4 |
±5 |
±6 |
| 已校准 |
nm |
±0.75 |
| 已校准，带线性编码器 |
μm |
±0.5 |
| 分辨率(最小增量运动) |
带旋转编码器 |
μm |
±0.025 |
| 带线性和旋转编码器 |
nm |
0.010 |
| 双向重复精度 |
带旋转编码器 |
μm |
±0.5 |
| 带线性和旋转编码器 |
nm |
±0.15 |
| 平面度 |
mm/s |
±3 |
±4 |
±5 |
| 俯仰 |
arc sec |
10 |
12 |
15 |
| 滚动 |
arc sec |
10 |
12 |
15 |
| 偏航 |
arc sec |
10 |
12 |
15 |
| 最大速度 |
mm/s |
10 |
10 |
20 |
| 负载能力 |
kg |
20 |
40 |
60 |
| 平台重量 |
kg |
5.4 |
10.2 |
17.8 |
| 材质 |
- |
阳极电镀铝 |
注释：
1. 通过-PL1/-PL2选项认证。
2. 与1 Vpp放大正弦旋转编码器(-E1反馈选项)和线性放大器。
3. 具有1 Vpp放大正弦线性编码器(-E3， -E4反馈选项)和线性放大器。
4. 需要选择合适的放大器，具有足够的电压和电流。
5. 轴上加载的轴方向已列出。
6. 当有效载荷超过负载能力的75%时，建议使用保持制动(-BK选项)，以防万一平台电源中断
意外丢失。
7. 不包括平台和制动选项。
8. 规格为单轴系统测量35毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于载荷和工作点。
详情请咨询工厂。 |
| 尺寸 |
| 请见样本 |
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